ציוד סרט דק משופר בפלזמה

ציוד סרטי דק משופרים בפלזמה הוא טכנולוגיית ציפוי יונים טהורים (קרן יונים טהורה), טכנולוגיית ניקוי קרני יונים בעלות אנרגיה גבוהה (Ionbeam), טכנולוגיית התזת מגנטרון (פיזוז) ותיקון אדים של כליאה מגנטית (CVD CVD) הם ארבע טכנולוגיות באחת, שהיא איחוד מושלם של טכנולוגיית CVD CVD).

ציוד סרט דק משופר בפלזמה מספק שילוב תהליכים גמיש יותר כדי לענות על מגוון צרכי מוצרים מורכבים, והתהליך ההיברידי החזק שלו מספק אפשרויות רבות יותר למעצבי תהליכים.

ציוד סרט דק משופר בפלזמה מבוא קצר של פונקציות ציוד:

(1) מקור ציפוי יונים טהור, באמצעות מערכת סינון אלקטרומגנטית יעילה, מסיר ביעילות חלקיקים, להשיג קרן יון טוהר גבוהה יותר, עוזר בשיפור קשיות הציפוי וכוח הכריכה;

(2) מקור ניקוי קרני יון אנרגיה גבוהה, באמצעות מבנה פריקה מעוצב במיוחד, התואם למעשה להפעלת ניקוי פלזמה, יינון עזר, תצהיר עצמאי ופונקציות אחרות;

(3) מקור התזת מגנטרון, תוך שימוש בתכנון שדה מגנטי חדשני, משפר ביעילות את קצב ניצול היעד של יותר מ- 30%;

(4) מקור תמצית אדים מוגבלת מגנטית, אמין וקל לשמירה על מבנה, יכול להשיג תצהיר ציפוי מהיר ועדין.

סוגי ציפוי טיפוסיים:

(1) ME-TAC, ציפוי מורכב מתכת TAC, בשימוש נרחב

(2) ME-DLC, ציפוי מורכב של DLC מתכת, בשימוש נרחב

(3) ME-TAC-DLC, ציפויים מורכבים של TAC-DLC, תוך קבלת קשיות בסיסית גבוהה יותר וכוח מחייב של TAC, יש קצב התצהיר ומראה עדין של DLC.

ציוד סרטי דק משופר בפלזמה אקספרס יכול לממש את השילוב של TAC-DLC, המשפר מאוד את כוח הכריכה בהשוואה ל- CVD הפשוט, תוך הפחתת גודל החלקיקים של PVD וקיצור זמן התהליך.

אקספרס ציוד סרט דק משופר בפלזמה יכול להשיג מגוון של תהליכים C בתצהיר סרטים, ציפוי יונים טהור TAC, פריקת כליאה מגנטית DLC, מקור יון אנודה ציפוי DLC וכו '.

ציוד סרטי דק משופר בפלזמה אקספרס מצויד במכשיר ותוכנה סריקה אלקטרומגנטית, שיכולים לשלוט בכיוון הקורה של הפלזמה בנקודה קבועה ובזמן, ולשפר מאוד את בעיית האחידות הציפוי, והאחידות של שכבת סרט התנור כולה נשלטת מתחת ל ± 5%; אקספרס אופטימיזציה של עיצוב שדה מגנטי ועיצוב קירור, תחזוקה קלה, יציבות ציוד טוב;

אקספרס ממשק-מכונה ידידותי, הקלטה בזמן אמת של נתוני תהליכים, תורמים לבקרת איכות, ניתוח קשה, פיתוח תהליכים חדשים;

אקספרס פרויקט זה הוא ציוד סוהר, חברת המקור הטהור מספקת פיתרון שלם, כולל פורמולה ציפוי בוגרת יציבה.