מהו תצהיר אדים פיזי (PVD)
תצהיר אדים פיזי (PVD) היא טכנולוגיה המשתמשת בשיטות פיזיות בתנאי ואקום כדי לאדות את פני השטח של חומרים מוצקים או נוזליים לאטומים גזים, מולקולות או ליינה אותם באופן חלקי ליונים, ואז להפקיד סרטים עם פונקציות מיוחדות מסוימות על המצע באמצעות תהליך גז (או פלסמה פלסמה).
טכנולוגיית PVD יכולה להפקיד לא רק סרטי מתכת וסרטי סגסוגת, אלא גם סרטי מורכבים, קרמיקה, מוליכים למחצה ופולימר, והיא טכנולוגיית ייצור חומרים חדשה עם סיכויי יישום רחבים. לסרטים האולטרה-קרים שהוכנו על ידי טכנולוגיה זו לא רק קשורות גבוהה במיוחד, אלא גם אולטרה-אולטרה, עמידים לטמפרטורות גבוהות, ללא זיהום, ויש להם כמעט אפס פליטות. הם מתאימים לדרישות ביצועים מיוחדות כמו עמידות בלאי, עמידות בפני חמצון, עמידות בפני קורוזיה ושימון עצמי על פני השטח של כלים, חלקים וחלקי חיכוך ולבישה, והם אחת הטכנולוגיות המבטיחות והיקרות ביותר בטכנולוגיית הנדסת שטח של ימינו.
סוגים של תצהיר אדים פיזי
|
PVD |
יתרונות |
חסרונות |
יישומים |
|
אידוי ואקום |
● עקרון פשוט, פעולה נוחה ובקרה קלה על פרמטרי התצהיר ● טוהר סרטים גבוה, המתאים ללימוד תכונות סרטים ● קצב התצהיר מהיר, יעילות גבוהה וניתן להפקיד בו במקביל על מספר מצעים ● חומרים רלוונטיים הם רבים ● העלות היא הנמוכה ביותר ב- PVD |
ההדבקה בין הסרט למצע היא ירודה יחסית, ויכולת ההחזרה של התהליך אינה מספקת במיוחד. |
אידוי ואקום משמש לציפוי הפרעות אופטיות, ציפוי מראה, ציפוי דקורטיבי, סרטי מחסום על חומרי אריזה גמישים, סרטים מוליכים, ציפויים נגד קורוזיה וכו 'של חומרי אינדקס שבירה גבוהים ונמוכים. בעת הפקדת מתכות, אידוי ואקום נקרא לעיתים גם מתכת ואקום. |
|
תצהיר מפותל |
● הדבקה טובה בין הסרט למצע ● טוהר גבוה של הסרט ● צפיפות טובה, אין נקבוביות ● ישים לרוב החומרים המוצקים (במיוחד חומרים עם נקודות התכה גבוהות), עם מגוון רחב של תחולת חומרית ● תהליך התצהיר המזנח יש יכולת שליטה טובה ויכולת החזרה, והוא מתאים לייצור תעשייתי |
● הציוד מורכב, ופרמטרי התצהיר קשה לשלוט ● קצב התצהיר נמוך ● כיוון התצהיר אינו טוב כמו אידוי ואקום ● חומרי היעד המפזרים הם בדרך כלל יקרים ● תהליך התמצית התנפצות דורש שליטה מדוקדקת בהרכב הגז כדי למנוע הרעלת יעד המשמשת להפקדת סרטי מתכת על חומרי מוליכים למחצה |
ציפויים על זכוכית בניין, ציפויים רפלקטיביים על פולימרים, סרטים מגנטיים על אמצעי אחסון, סרטים מוליכים שקופים על זכוכית ורשתות גמישות, חומרי סיכה יבש, ציפויים עמידים בלאי על כלים וציפויים דקורטיביים. |
|
תצהיר יונים |
● הדבקה טובה בין הסרט למצע ● צפיפות גבוהה ● בלאי טוב ועמידות בפני קורוזיה ● מגוון רחב של תחולת חומרים |
● יש לשלוט על משתני עיבוד רבים ● קשה להשיג הפצצת יונים אחידה על פני המצע, וכתוצאה מכך שינויים בתכונות הסרט ● המצע עשוי להיות מחומם יתר על המידה |
ציפוי יונים משמש להפקיד ציפויים קשים, ציפוי מתכת מחובר, ציפויים אופטיים בצפיפות גבוהה וציפויים קונפורמליים של חומרים מורכבים על משטחים מורכבים. השימוש בציפוי יונים כדי להפקיד סרטי אלומיניום על רכיבי חלל נקרא בתצהיר אדי יון. |
· אידוי ואקום
אידוי ואקום, המכונה גם ציפוי אידוי ואקום, הוא השיטה הנפוצה והנפוצה ביותר בהכנת הסרטים. העיקרון שלו הוא להשתמש בחום חיצוני כדי לאדות את חומר הסרט (חומר סרטים) ולהמיס אותו, או לאדות אותו ישירות למצב גזי, ולהפקיד אותו על המצע כדי ליצור סרט בתנאי ואקום. על פי מקור החום, ניתן לסווג אותו כ: ציפוי אידוי התנגדות, ציפוי קרן אלקטרונים (EB), ציפוי לייזר פועם (PLD), אידוי מחומם אינדוקציה וכו '.
· תצהיר מפיץ
בסביבת ואקום, זוהי טכנולוגיית ציפוי המשתמשת בפריקת גז כדי לייצר יונים (AR), ומשתמשת ביוני פלואור טעונים חיוביים כדי להפציץ את חומר המטרה המוצק הטעון לרעה כדי לגרום לאטומי חומר היעד ולהפקידה על פני המצע כדי ליצור סרט. ציפוי רטט וואקום מסווג לסוגים שונים בהתאם למכשירי פיזוט שונים: דיודה, טריודה או ריבוע התזת, קווי זרם ישיר או קו תדרים רדיו, התזת מגנטרון, התזת תגובית, קרן יון מרטט וכו ', בין ציפוי מגנטרון, הוא נעשה שימוש נרחב, כולל זרם מגנטרון זרם ישירים, ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ציפוי ישיר ישיר. ציפוי מגנטרון ללא שיווי משקל, ציפוי מוטות פועם, פועם זרם ישיר מגנטרון ציפוי מתנפנף, תדר רדיו מגנטרון ציפוי ציפוי תדר בינוני מגנטרון ציפוי רטט וכו '.
· ציפוי יונים
ציפוי יונים הוא אחת הטכנולוגיות הציפוי המהירות והנפוצות ביותר. חומר הקולנוע (חומר קולנוע) משתנה ממצב מוצק למצב גזי באופן הדומה לאידוי ציפוי או ציפוי מתנפץ, אך חומר הקולנוע הגזי משתתף בפריקת הזוהר יחד עם הגז העובד במהלך התחבורה שלאחר מכן, וחלקו מיוננים ליונים ואלקטרונים, והייונים והחלקיקים הניטרליים מפקידים על המצע הטבוע באופן שלילי כדי ליצור סרטים. ניתן לחלק את ציפוי היונים בעצם לשלוש קטגוריות: ציפוי יונים בפלזמה, תצהיר אדי קשת וציפוי יונים קרניים. המאפיין האופייני ביותר המבדיל את ציפוי היונים לבין ציפוי אידוי וציפוי מפיץ הוא: ① בציפוי יונים, אטומי חומר הקולנוע הגזים עוברים תהליך ניתוק, ② בציפוי יונים, המצע בדרך כלל מיישם הטיה שלילית. אם מתקיימים שני התנאים הללו, ניתן לסווג את הציפוי כציפוי יונים.
יישומים נפוצים
היקף היישום של תצהיר אדים פיזי (PVD) הולך וגדל. סרטים מסווגים בדרך כלל לקטגוריות שונות:
ציפוי PVD צבעוני: שפר את העמידות, האסתטיקה וערך המוצרים
ציפויים בעלי ביצועים גבוהים: עמיד בפני חום/עמיד בקור/עמיד בלחץ/עמיד בקנה מידה מים עמיד/עמיד בפני קורוזיה, ביו-תאימות
פחמן דמוי יהלום: למקסם את העמידות, להפחית את החיכוך או לשפר את המראה
תחליפי כרום PVD: אלטרנטיבה יפה, עמידה ובטוחה לכרום קשה
ציפוי נחושת: ניתן להשתמש בנחושת למראהו הייחודי ותכונותיו האנטיבקטריאליות
