ציוד לאידוי קשת

פלטפורמה תעשייתית של שקיעת אדים פיזית (PVD) שהונדסה עבור סינתזה-ת גבוהה של ציפויים קשים צפופים,- עמידים בפני שחיקה ופונקציונלית. שמירה על פריקת קשת קתודית במתח גבוה- ונמוכה-על משטחי מטרה מוצקים מייצרת זרם פלזמה מיונן של 80% עד כמעט 100%.

בשילוב עם הטיית מצע שלילי ניתנת לתכנות, אנרגיה קינטית גבוהה זו מניעה ערבוב בקנה מידה אטומי של ממשק פנים בקנה מידה אטומי, מה שמניב הידבקות סרט מעולה ואפס נקבוביות עמודים. ארכיטקטורת החדר תומכת בתצורות קתודה רב- מודולריות להצבה אוטומטית של -שכבה אחת, רב-שכבתית ננו- וציפויי גרדיאנטים סטוכיומטריים (TiN, TiAlN, CrN, TiCN).

שיעור יינון גבוה:אידוי קתודי ישיר הופך שטף מתכתי ליונים בצפיפות- גבוהה, ומקדם מבני גרגרים צפופים ללא מיקרו-חללים.

הגה מגנטי אקטיבי:סלילים אלקטרומגנטיים ניתנים לתכנות גורפים את נקודת הקשת על פני יעדים, מדכאים מכתשים מקומיים ומניעים את ניצול חומרי המטרה מעבר ל-60%.

בקרת גז דינמית:בקרי זרימת מסה-סגורה (MFC) מווסתים הזרקת גז תגובתי (N2, O2, C2H2) באמצעות משוב לחץ חלקי-בזמן אמת.

סינרגיה מרובת-מקורות:קירות הלשכה מתאימים לפריסות יעד היברידיות, המאפשרות הנחתה רציפה ללא הפרעה של שכבות קרמיקה מרובות-רכיבים במחזור ואקום יחיד.

קבוצת חיספוס ושורשים:משאבת שושבת סיבובית-ישירה בשילוב עם מפוח שורשים בנפח- גבוה כדי להתמודד עם עומסי גז גבוהים במהלך עיבוד תגובתי.

שלב ואקום גבוה:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s) בשילוב באמצעות שסתום שער פנאומטי-במוליכות גבוהה.

מכשור ואקום:הגדרות מודד כפול- של Pirani ו-Cold Cathode המנטרות את הלחץ הכולל בין האטמוספירה ל-10^-6 Pa.

שלמות דליפה:אוגנים אטומים-אלסטומר עם קירור-עם מים שומרים על קצב דליפות המערכת מתחת ל-1.0 x 10^-9 Pa*m3/s.

חומרי יעד קתודה
מתכות מעבר וסגסוגות:טיטניום (Ti), כרום (Cr), זירקוניום (Zr), אלומיניום (אל), טיטניום-אלומיניום (TiAl 50/50, 33/67), טונגסטן (W).

לא-מתכתיים:גרפיט-בטוהר גבוה (C) ליהלום-כמו פחמן (DLC) ושכבות קרביד.

מצע תעשייתי
פלדות כלי עבודה וקרבידים:High-Speed ​​Steel (HSS), Cemented Carbides (WC-Co).

סגסוגות מבניות:פלדות אל-חלד אוסטניטיות/מרטנזיות, סגסוגות טיטניום (TC4), סגסוגות-על מבוססות ניקל- (Inconel).

כלי חיתוך מדויק:שקיעה של TiAlN ו-AlTiN על מקדחים, כרסמות קצה וכיריים להעלאת קשיות פני השטח ל-3300-3500 HV ולהעלאת עמידות חמצון תרמית עד 800 מעלות.

הנדסת רכב:ציפויים-נמוכים, עמידים לבלאי-על רכיבי הזרקת דלק, טבעות בוכנה וברזים.

תבניות ומתות:שקיעת כרום ניטריד (CrN) על תבניות הזרקת פלסטיק כדי למנוע בלאי דבק, מיקרו-ריתוך והדבקות שרף.

גודל תא:שינויים גיאומטריים המותאמים ללוחות אדריכליים גדולים מדי או לקרוסלות כלים קטנות עם-תפוקה גבוהה.

הכלאה של מקור:אינטגרציה של מקורות קשת קתודיים עם מקרטעת מגנטרון לא מאוזנת (UBM) או קתודות HiPIMS בגוף מאוחד.

ממשקי אוטומציה:אינטגרציה של MES במפעל באמצעות פרוטוקולי OPC-UA לצד אפשרויות פתחי טעינה אוטומטיות.

אימות דליפת הליום:בדיקת דליפת ספקטרומטר מסה מתבצעת על כל הריתוכים ואטמי הוואקום.

ביקורת בטיחות חשמל:בדיקת בידוד של Hipot, בדיקות המשכיות הארקה ואימות לולאה E-עצור.

72-בדיקת צריבה של שעות:מחזור יבש- מתמשך של כונני סיבוב מכניים, מתגי זרימת מים ורצפי שסתומי PLC לפני הפירוק.

בדיקת קבלת מפעל (FAT):בוצע באתר-כדי לאמת את רמות הוואקום הבסיסיות, יציבות הצתת הקשת והתפלגות עובי קו הבסיס על קופוני כיול.

מסירת דרישת מתקן:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 מעלות), חילוץ פליטה ונפילות באספקת החשמל (תלת פאזי, 380V/480V).

הזמנת שטח:פיקוח- באתר על ידי מהנדסי שדה מכניים וחשמליים, המכסה קבוצות יישור, חיבור וניסוי.

הכשרת מפעילים:הוראות מובנות על תצורת מתכוני תוכנה, נהלי החלפת יעדי קתודה ותחזוקת ואקום מונעת.

אבחון מרחוק:שער VPN תעשייתי מאובטח המוטבע בלוח הבקרה עבור טלמטריית תוכנה ותמיכה בפתרון בעיות.