סקירת מוצר
מערכת אידוי הקתודית התעשייתית היא פלטפורמת ייצור-בדרגת ייצור (PVD) המיועדת להנחת ציפויים קשיחים-עמידים בפני שחיקה,- בפני קורוזיה ו-נמוכים. על ידי שימוש בקשתות חשמליות במתח נמוך- וזרם גבוה-, מטרות קתודה מוצקות מתאדות ומייננות באופן מיידי בנקודת הקתודה, מה שיוצר פלזמה מתכתית מיוננת מאוד.
מערכת זו תוכננה ומיוצרת תחת תקני ניהול איכות ISO 9001 והנחיות תאימות ל-CE, והיא מוגדרת לפעולות ציפוי-תפוקה גבוהה בייצור כלים, רכיבי רכב ומגזרי חומרה תעשייתיים. תצורות סטנדרטיות משלבות פריסות קתודה מרובות- עם הגה שדה מגנטי- עצמאי, ספקי כוח ניתנים לתכנות DC/pulsed bias ובקרת ואקום אוטומטית כדי לשמור על סטוכיומטריית סרט עקבית ומבני מיקרו צפופים.
-
![מערכת סרט דק אידוי קשת]()
מערכת סרט דק אידוי קשתמערכת הסרטים הדקים לאידוי הקתודי הקתודי התעשייתי מתוכננת עבור-קצב גבוה של ציפויים מתכתיים, סגסוגת וקרמיקה צפופים, נצמדים חזק. המערכת פועלת באמצעות מתח נמוך-, פריקת קשת זרם גבוהה- על מטרות קתודה...צפה בעוד -
![ציוד PVD לאידוי קשת]()
ציוד PVD לאידוי קשתמערכת PVD אידוי קשת קתודית תעשייתית משתמשת בקשתות חשמליות -נמוכות וזרם גבוה- כדי לאדות מטרות קתודה מוצקות בסביבת ואקום. מנגנון זה משיג קצב יינון מתכת העולה על 80%, מה שמבטיח חוזק התקשרות כימי גבוה...צפה בעוד -
![מערכת סרט דק של קשת ואקום]()
מערכת סרט דק של קשת ואקוםמערכת הסרט הדק התעשייתי של קשת ואקום משתמשת באידוי קשת קתודי להנחת סרטים דקים מתכתיים, סגסוגת וקרמיקה צפופים, נצמדים מאוד. קשת זרם גבוהה-נמוכה-מאידה חומרי קתודה מוצקים לזרם פלזמה מיונן מאוד (40% -...צפה בעוד -
![ציוד לסרט דק קשת קתודי]()
ציוד לסרט דק קשת קתודימערכת אדי פיזיקלית (PVD) משתמשת בקשתות חשמליות -נמוכות מקומיות-ות חשמליות, כדי לאדות מטרות קתודה מוצקות לפלזמה מיוננת מלאה. קצב היינון הגבוה (40%-80%) מניע חיבור ברמת אטום- צפופה ולחץ דחיסה גבוה,...צפה בעוד -
![ציוד לאידוי קשת]()
ציוד לאידוי קשתפלטפורמה תעשייתית של שקיעת אדים פיזית (PVD) שהונדסה עבור סינתזה-ת גבוהה של ציפויים קשים צפופים,- עמידים בפני שחיקה ופונקציונלית. שמירה על פריקת קשת קתודית במתח גבוה- ונמוכה-על משטחי מטרה מוצקים...צפה בעוד -
![ציוד סרט דק לאידוי קשת]()
ציוד סרט דק לאידוי קשתמערכת אידוי בקשת קתודית זו מאדה מטרות קתודה מוצקות באמצעות קשת חשמלית -נמוכה וזרם גבוה- כדי ליצור פלזמה מתכתית מיוננת במלואה. בהשוואה לאידוי תרמי סטנדרטי או לקריסת מגנטרון, תהליך PVD זה מספק...צפה בעוד
מפרט טכני
|
פָּרָמֶטֶר |
טווח מפרט / תצורה סטנדרטית |
|
מידות קאמרית |
קוטר: 800 מ"מ - 1800 מ"מ (פריסות אנכיות/אופקיות הניתנות להתאמה אישית) |
|
חומר קאמרי |
פלדת אל-חלד SUS304 דופן-כפולה עם ערוצי קירור-מים פנימיים |
|
לחץ ואקום אולטימטיבי |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
תצורת קתודה |
4 עד 12 מקורות קשת מלבניים/מעגליים עם היגוי אלקטרומגנטי |
|
ספק כוח קשת |
300A - 500זרם קבוע מתכוונן, אדווה<= 2% |
|
כוח הטיית מצע |
0 עד -1000V מתכוונן, תדר הטיה דופק 10 קילו-הרץ - 100 קילו-הרץ |
|
מערכת חימום |
מערך חימום קרינה, טמפרטורה מקסימלית 600 מעלות +/- 5 מעלות אחידות |
|
סיבוב חלקי העבודה |
סיבוב ציר פלנטרי או כפול- מונע על ידי הזנת נוזל מגנטי |
|
מערכת בקרה |
PLC + PC תעשייתי, בקרת רצף אוטומטית מונעת-במתכון |
|
דרישות שירות |
מי קירור: 0.25-0.35 MPa, 20-25 מעלות; הספק: 380V/480V, תלת פאזי, 50/60 הרץ |
תהליך אידוי קשת
מחזור ההפקדה פועל תחת פיקוח נוהל קפדני כדי להבטיח שלמות הסרט והדבקה בממשק:
פינוי והוצאת גז:
תא הוואקום נשאב עד ללחץ הבסיס. מצע מחומם תחת ואקום כדי לחסל נדיפים פני השטח ולחות שארית.
01
תחריט פלזמה (ניקוי):
הפצצת יוני מתכת (באמצעות מקורות מטרה טיטניום או כרום) מנקה את פני המצע ברמה אטומית, מסיר תחמוצות מקומיות ומפעיל את הממשק.
02
שיקוע תגובתי:
גזים תגובתיים (N2, CH4, O2) מוזרקים לתא דרך בקרי זרימת מסה (MFCs) כדי להגיב עם שטף הפלזמה המתכתי (למשל, Ti, Cr, AlTi), ויוצרים סרטים מורכבים כגון TiN, TiAlN, או CrN.
03
קירור ואוורור:
קירור שלאחר-התצהיר מתרחש תחת אווירת גז אינרטי מגן לפני אוורור תא ואחזור חלקים.
04
מטרות קתודה נתמכות
טיטניום (Ti) וטיטניום אלומיניום (TiAl):חומרי בסיס עבור ציפויים TiN סטנדרטיים ועמידות-חמצון- גבוהה (עמידה בחמצון עד 900 מעלות).
Chromium (Cr):משמש לגימורים דקורטיביים ושכבות CrN/CrC עמידות-לקורוזיה.
זירקוניום (Zr) וסיליקון טיטניום (TiSi):מיושם עבור סרטי ננו מרוכבים מיוחדים דקורטיביים ובלאי קיצוני-.
חומרי מצע תואמים
פלדה במהירות-(HSS):מקדחי טוויסט, כרסמות קצוות, כיריים וסיכות.
מלט קרבידים (WC-Co):תוספות ניתנות לאינדקס, חודרים וקוביות יצירה.
פלדות וסגסוגות הנדסיות:רכיבי שסתומי רכב, גלגלי שיניים, חומרה סניטרית מנירוסטה ושתלים רפואיים טיטניום.
יישומים והשפעת ביצועים
כלי חיתוך מתכת:
שקיעה של ציפויים TiAlN ו-AlCrN על תוספות קרביד ופרסאות קצה, מאריכה את תוחלת חיי הכלים ב-200% עד 300% ומאפשרת עיבוד יבש במהירות גבוהה-.
תבניות יצירה והטבעה:
יישום של ציפויי חיכוך צפופים-נמוכים כדי להפחית בלאי דבק, התפרקות והידבקות של חלקי עבודה במהלך שרטוט עמוק, והפחתת זמן ההשבתה בעד 40%.
מערכת הנעה לרכב:
טיפול בטבעות בוכנה, פיני הזרקת דלק וברזים כדי למזער את מקדם החיכוך הגבול עד < 0.15 ולמנוע בלאי שפשוף.
חומרה תעשייתית וברז סניטרי:
שכבות PVD דקורטיביות קשות (זהב TiN, זהב ורוד, זירקוניום שחור) העוברות בדיקת ריסוס מלח ניטרלי של מינימום 500 שעות (ASTM B117).
התאמה אישית ותצורת תהליך
פריסות ציוד מותאמות בהתאם לנפח הייצור, גיאומטריית החלקים וטביעת הרגל של המפעל:
גיאומטריה קאמרית:
מבני העמסה אנכיים לכלים כבדים; תצורות אצווה אופקיות לטעינת מתקן-בקיבולת גבוהה.
שילוב מקור:
תצורות היברידיות המשלבות מקורות קשת קתודיים עם קתודות קיצוץ מגנטרון (RMS) לא מאוזנות כדי להפקיד ארכיטקטורות רב-שכבתיות חלקות ונטלות טיפות.
מערכות סינון:
מסנני מאקרו-חלקיקים מגנטיים אופציונליים (מסנני קשת מנווטים) מותקנים על ערוצי קתודה כדי למנוע טיפות מאקרו- לציפויים פונקציונליים אופטיים או חלקים במיוחד.
ממשק אוטומציה:
אינטגרציה-מוכנה לזרועות טעינה רובוטיות ולשלבי אצווה של רכב מונחה אוטומטי (AGV).
שלמות מבנית:גופי לשכת עוברים בדיקת דליפת ספקטרומטר מסה הליום בסף רגישות של<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
בטיחות חשמל ותאימות:נבנה אך ורק לפי הנחיות הבטיחות החשמליות של CE ו-IEC, כולל בדיקות בידוד מלאות ומנעולי בטיחות חירום.
ריצה פונקציונלית-(FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) מאומתים על גבי קופוני בדיקה סטנדרטיים לפני המשלוח.
התקנה ותמיכה טכנית
חבילת הכנת אתר:
שרטוטי פריסה מקיפים של שירות המפרטים את קצבי זרימת מי הקירור, אוורור פליטה, קיבולת עומס הרצפה ומפרטי נפילות חשמליות מסופקים 4 שבועות לאחר החוזה.-
הפעלת-אתר:
מהנדסי תהליך מוסמכים-במפעל מטפלים ביישור מכני, זיהוי דליפות ואקום, אינטגרציה חשמלית והגדרה ראשונית של מתכונים במתקן הלקוח.
תהליך העברת מתכון:
המשלוח כולל מתכוני בסיס סטנדרטיים (TiN, TiAlN, CrN) והדרכה תפעולית עבור צוותי תחזוקה והנדסה פנימיים.
תמיכה באבחון מרחוק:
מערכות מצוידות בשערי נתב תעשייתי מאובטח לפתרון בעיות בפרמטרים מרחוק ואבחון לוגי PLC.
שאלות נפוצות
אנו-ידועים כאחד היצרנים והספקים המובילים של ציוד לסרט דק לאידוי קשת בסין. אם אתה מתכוון לקנות ציוד מותאם אישית לסרט דק לאידוי קשת תוצרת סין, מוזמן לקבל מחירון מהמפעל שלנו. לייעוץ מחירים צרו קשר.
