סקירת מוצר
ה-PVD Composite Thin Film Equipment הוא פלטפורמת השקת ואקום תעשייתית המיועדת להנחת סרטים דקים מרובי-שכבות, סגסוגת וננו-מרוכבים. שילוב של קיצוץ מגנטרון ומקורות קשת קתודיים בתוך תא ואקום אחד, המערכת מאפשרת שליטה מדויקת על מבנה המיקרו של הסרט, מתח שיורי והידבקות בין פנים. הפלטפורמה נבנתה לייצור מתמשך ומו"פ מתקדם, ומכילה מצעים מתכתיים, קרמיים ופולימריים עם גיאומטריות תא ניתנות להרחבה.
-
![PVD Composite Deposition Vacuum ציוד]()
PVD Composite Deposition Vacuum ציודפלטפורמת תצהיר ואקום תעשייתית מסוג PVD משלבת טכניקות שיקוע מרובות בסביבה תא יחידה כדי להפקיד סרטים דקים מתכתיים, סגסוגת או דיאלקטריים אחידים, רב-שכבתיים. ארכיטקטורות סטנדרטיות מתאימות לעיבוד אצווה...צפה בעוד -
![מערכת התקנת סרטים דק היברידית PVD]()
מערכת התקנת סרטים דק היברידית PVDמערכת ה-PVD Hybrid Thin Film Deposition משלבת אידוי תרמי, אידוי קרן אלקטרונים (e-קרן) וריזור מגנטרון RF/DC בתוך ארכיטקטורת ואקום אחת. פלטפורמה זו מאפשרת שקיעה רציפה או-תת של מתכות, סגסוגות...צפה בעוד -
![PVD Multi-Process Film Thin Equipment]()
PVD Multi-Process Film Thin Equipmentה-PVD Multi-Process Thin Film Equipment הוא פלטפורמת השקת ואקום משולבת שתוכננה לשלב טכניקות ייצור של סרט דק מרובות-כולל RF/DC Magnetron Sputtering, אידוי תרמי ואיוד קרן אלקטרונים - בתוך ארכיטקטורת...צפה בעוד -
![ציוד שיבוץ PVD Composite]()
ציוד שיבוץ PVD Compositeציוד מרוכב PVD תעשייתי מתוכנן לייצור סרט דק-רב-, רב-שכבתי וננו-מרוכב. המערכת משלבת אידוי תרמי, אידוי קרן e- ומקורות התזת מגנטרון בתוך סביבת ואקום אחת כדי לשלוט בהרכב הסרט, בחדות הממשק ובמתח שיורי....צפה בעוד -
![מערכת PVD Composite Film Thin]()
מערכת PVD Composite Film Thinמערכת ציפוי ואקום בדרגה-תעשייתית המשלבת התזת מגנטרון (RF/DC/HiPIMS) ואידוי קשת קתודית. תוכנן להצבת סרט דק- רציף, רב-שכבתי, סגסוגת וננו-מרוכבת בקנה מידה ייצור.צפה בעוד -
![ציוד לסרט דק PVD Composite]()
ציוד לסרט דק PVD CompositePVD Composite Thin Film Equipment הוא פלטפורמת ואקום תעשייתית שנועדה לסנתז סרטים דקים מרובי-שכבות, סגסוגות ומדורגות. בנוי על ארכיטקטורת נירוסטה מודולרית של 304L/316L, הוא משלב עד ארבעה מקורות...צפה בעוד
מפרט טכני
|
פָּרָמֶטֶר |
טווח מפרט |
|
לחץ ואקום אולטימטיבי |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
לחץ עבודה |
0.1 Pa - 5.0 Pa |
|
טמפרטורת המצע |
אווירה עד 800 מעלות (בקרת PID-סגורה) |
|
מקורות הפקדה |
ניתן להגדרה: קשת מגנטרון DC/RF, DC Pulsed, קשת קתודית מסוננת |
|
אחידות עובי |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
חומר קאמרי |
304L/316L נירוסטה, הארקה מכנית ומלוטש אלקטרו- (Ra<= 0.4 um) |
|
שילוב ספק כוח |
גנרטורים MF (10-100 קילו-הרץ), גנרטורים RF (13.56 מגה-הרץ), הטיית DC Pulsed |
|
מערכת בקרה |
PLC תעשייתי + IPC עם ביצוע אוטומטי של מתכונים, ניטור שלובים ורישום נתוני אצווה |
תהליך הפקדה מורכב
המערכת משתמשת בארכיטקטורת שקיעת אדים פיזית היברידית המשלבת קימוץ מגנטרון וטכנולוגיות קשת קתודית.
סינרגיה מרובת-מקורות:
פעולה סימולטנית או רציפה של קתודות מרובות מאפשרת מעברי קומפוזיציה פתאומיים או מדורגים על פני ערימת הסרט.
תחריט יונים לפני-ניקוי:
שלבי ניקוי פלזמה RF או DC מסירים תחמוצות מקומיות ומזהמי פני השטח לפני השקיעה כדי למקסם את הדבקת הציפוי-ל-המצע.
בקרת שיקוע תגובתי:
ספקטרוסקופיה אופטית של פליטה אופטית-סגורה (OES) מסדירה הזרקת גז תגובתי (O2, N2, C2H2) כדי לשמור על סטואכיומטריה יציבה של המתחם ולמנוע הרעלת מטרה.
הטיית מצע:
ספקי כוח מסונכרנים מפולסים מפציצים את הסרט ההולך וגדל ביונים באנרגיה גבוהה-, מצפיפות את המבנה המיקרו ומתאימים את הלחץ הדחיסה השיורי.
חומרי סרט
הציוד תומך בספקטרום רחב של חומרי יעד לדרישות פונקציונליות מותאמות:
ניטרידים וקרבידים של מתכת מעבר:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN לבלאי ועמידות בפני קורוזיה.
מערכות ננו-מרוכבות ורב-שכבות:
שכבות TiSiN, AlTiSiN, מתכת/קרמיקה לקשיות קיצונית ויציבות תרמית-בטמפרטורה גבוהה.
תחמוצות מוליכות שקופות (TCO):
ITO, AZO, IGZO ליישומים אופטו-אלקטרוניים ופוטו-וולטאיים.
מתכות וסגסוגות טהורות:
Ti, Cr, Al, Cu, נירוסטה, NiCr למגע חשמלי ושכבות מחסום דיפוזיה.
יישומים
כלי חיתוך מדויק:
שקיעה של ציפויי חיכוך סופר-קשים,-נמוכים (לדוגמה, TiAlN) על תוספות קרביד, מקדחות וטחנות קצה- כדי להאריך את תוחלת החיים התפעולית בעומסים תרמיים גבוהים.
רכיבי רכב:
צמצום-חיכוך ובלאי-סרטים עמידים על טבעות בוכנה, חלקי הזרקת דלק ומכלולי הילוכים.
אופטואלקטרוניקה ותצוגות:
שכבות תחמוצת מוליכות מוליכות-נמוכות,-גבוהות עבור לוחות מגע ומצעי תאים סולאריים.
מכשירים רפואיים:
ציפויים ביו-תואמים ועמידים-ללבוש על מכשירים כירורגיים ושתלים אורטופדיים.
התאמה אישית ותצורת מערכת
תצורות הנדסיות מותאמות לאילוצים ספציפיים של מתקן ייצור ולמתכוני תהליך:
גודל תא:
אפשרויות תא גלילי או מלבני, החל ממערכות אצווה מו"פ (קוטר 500 מ"מ) ועד למערכות נעילה-בקנה מידה גדול של עומס ייצור- (1000 מ"מ+).
01
מבחר סוויטות שאיבה:
התאמת מפוחי שורשים, משאבות טורבומולקולריות ומשאבות קריוגניות על סמך זמני השבתה-הדרושים של משאבות ופרופילי עומס גז.
02
קיבוע מצע:
שלבי סיבוב פלנטריים מותאמים אישית, 3-סיבוב לוויין של 3 צירים, או מודולי גלגול-לגלגול המיועדים לגיאומטריות תלת-ממדיות מורכבות או רשתות רציפות.
03
רמת אוטומציה:
תצורות עומס ידני למחצה-אוטומטיות או מערכות העברת ואקום אוטומטיות לחלוטין עם טיפול במצע רובוטי.
04
ייצור ובקרת איכות
איתור דליפות:
כל תא ואקום עובר בדיקת דליפה של ספקטרומטר מסת הליום עד לסף של < 1 x 10^-10 Pa * m^3/s.
בדיקת ריתוך:
ריתוך צד-בוואקום מרותכים TIG, טחונים ומלוטשים, ולאחר מכן בדיקת -רנטגן או חודר צבע על פי בקשה.
תאימות לחשמל ובטיחות:
לוחות בקרה הבנויים בהתאם לתקני NFPA 79 או CE/IEC, הכוללים נעילות חומרה לזרימת מים, לחץ גז ובטיחות חשמל.
בדיקת קבלת מפעל (FAT):
בדיקות טרום-משלוח כוללות רכיבה על אופניים של 72-שעות רציפות- יבשות, אימות ביצועי ואקום ובדיקת הנחת ציפוי באמצעות מתכונים שצוינו על ידי הלקוח.
הנחיות הכנת אתר:מסמך דרישות מתקן מקיף מסופק המפרט ממשקי שירות (זרימת מי קירור/לחץ, עומס חשמלי, אוויר דחוס, פליטה).
הפעלת-אתר:מהנדסי שירות בשטח מבצעים יישור מכני, בדיקות דליפות ואקום, חיבורים חשמליים- וכיול ראשוני.
תהליך כוונון מתכון:שיתוף-אתר עם מתכות לקוחות ומהנדסי תהליכים כדי לנעול פרמטרים של עובי הסרט, הלחץ והקשיות היעד.
תמיכה במחזור החיים:ממשק אבחון מרחוק, מלאי חלקי חילוף מקומי ותוכניות תחזוקה מונעת מתוזמנות.
שאלות נפוצות
אנו-ידועים כאחד מיצרני הציוד והספקים המובילים של ציוד לסרטים דקים מסוג pvd בסין. אם אתה מתכוון לקנות ציוד סרט דק מרוכב Pvd מותאם אישית תוצרת סין, מוזמן לקבל מחירון מהמפעל שלנו. לייעוץ מחירים צרו קשר.
