PVD Composite Deposition Vacuum ציוד

פלטפורמת תצהיר ואקום תעשייתית מסוג PVD משלבת טכניקות שיקוע מרובות בסביבה תא יחידה כדי להפקיד סרטים דקים מתכתיים, סגסוגת או דיאלקטריים אחידים, רב-שכבתיים. ארכיטקטורות סטנדרטיות מתאימות לעיבוד אצווה עבור מצעים עד 400 מ"מ על 400 מ"מ, עם גיאומטריות תא מותאמות אישית זמינות לטיפול ברכיבים -ל-גלגול או תלת מימד.

אינטגרציה מרובת-מקורות:משלב אידוי תרמי וקפיצת מגנטרון במחזור משאבה בודדת-, מונע חמצון ממשק ומצמצם את זמן הטיפול.

בקרת עובי לולאה סגורה-:מתממשקים ישירות עם חיישני קוורץ קריסטל מיקרואיזון (QCM) ומערכות מוניטור אופטיות כדי לשלוט בקצבי השקיעה בזמן אמת.

אדריכלות קאמרית מודולרית:יציאות עם אוגן מאפשרות התאמה מהירה של מקורות אידוי נוספים או רובי יונים מבלי-לעבד מחדש את גוף החדר הראשי.

יכולת הטיית מצע:ספקי כוח הטיית RF/DC מספקים ניקוי הפצצת יונים לפני השקיעה, ומגבירים את הידבקות הסרט על מצעים מתכתיים וקרמיים קשים.

רצף תהליכים אוטומטי:ניהול מתכונים מבוקר- של PLC שולט בשסתומי שער, בקרי זרימת מסה (MFC), תנועות כוח והפעלת תריס כדי למנוע שינויים שנגרמו על ידי המפעיל.

תת-מערכת הוואקום בנויה כדי למזער את זמני המחזור ולטפל בעומסי יציאת גז מחומרי מקור מגוונים:

משאבות חיספוס ושורשים:משאבות עם בורג יבש מונעות סיכונים בזרימת שמן חזרה- ועומדות בדרישות ISO Class 4 בחדר נקי.

משאבות ואקום גבוהות-: Combination of magnetically levitated turbo-molecular pumps (slot speed >= 1600 ליטר/שניות) ומשאבות קריו אופציונליות לקיבולת שאיבת מים- גבוהה.

ניטור לחץ:תצורת מד טווח כפול- (מדדי פיראני לחספוס; מדי יינון/עיכה עבור ואקום גבוה) שלובים עם שסתומי בטיחות כדי למנוע זיהום אטמוספרי של חוטים.

איתור דליפות:דליפת הליום-נבדקה לסף של < 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s לפני קבלת היצרן.

חומרי אידוי:
מתכות:Al, Cu, Ti, Cr, Ni, Au, Ag, Pt.

סגסוגות:מטרות NiCr, TiAl, נירוסטה.

דיאלקטריים / תחמוצות:SiO2, TiO2, Al2O3, ITO (באמצעות קיזור תגובתי או אינטגרציה של אלומת אלקטרונים).

תאימות מצע:
פרוסות מוליכים למחצה:סיליקון, GaAs עד 300 מ"מ.

מצעים אופטיים:עדשות זכוכית אופטית, קוורץ וספיר.

פלסטיקה הנדסית:PI, PET, PC באמצעות ניהול תרמי-נמוכים.

מצעי מתכת:רדיד מתכת ורכיבים מתכתיים מוטבעים.

אופטואלקטרוניקה:שקיעה של תחמוצות מוליכות שקופות (ITO) ושכבות אנטי-רבות-השתקפות עבור לוחות מגע וחלונות חיישנים.

חשמל אלקטרוניקה:היווצרות של מגעים אוהםים בעלי התנגדות- נמוכה ושכבות מחסום על סיליקון ומצעי מוליכים למחצה- רחבים.

ציפויים פונקציונליים:ללבוש-ציפויים מתכתיים עמידים ודקורטיביים על מחברים תעשייתיים, שתלים רפואיים וחומרה לצרכן.

תצורות הציוד מותאמות לאילוצי ייצור ספציפיים:

גודל תא:קנה מידה מיחידות מו"פ (קוביה של 400 מ"מ) למערכות ייצור עם קיבולת- גבוהה (1200 מ"מ גלילי/תאי קופסה).

טען-שילוב נעילה:תצורת טעינה ידנית -יחידה או -עמסת תא- כפולה כדי לשמור על שלמות ואקום גבוהה באזור ההשקעה הראשי במהלך מחזורי טעינה מתמשכים.

ניהול תרמי:שלבי מצע מקוררים- במים, מחוממים (עד 600 מעלות), או טבלאות קירור מצע קריוגני.

ממשק בקרה:אינטגרציה עם רשתות SCADA או MES של היצרן באמצעות פרוטוקולי SECS/GEM או Modbus TCP.

כל יחידה עוברת אימות קפדני לפני המשלוח:

בדיקת תקינות ואקום:ביקורת גילוי דליפות של ספקטרומטר מסה הליום רציף 48 שעות.

מבחן בטיחות חשמל:התנגדות בידוד, עמידות דיאלקטרית ובדיקות המשכיות הארקה תואמות להנחיות הבטיחות CE/UL.

ריצה יבשה פונקציונלית:רכיבה אוטומטית רציפה של 72 שעות של כל התריסים המכניים, בקרי זרימת המונים ומחוללי חשמל.

הפעלת תהליך קבלה:בדיקת קבלה מהמפעל (FAT) שבוצעה באמצעות חומרי יעד שצוינו-על ידי הלקוח כדי לאמת את יציבות קצב ההשקעה ואחידות העובי.

חבילת תיעוד:תוצרים הנדסיים שלמים, כולל דיאגרמות P&ID, שרטוטים חשמליים, ארכיטקטורת לוגיקה של מקור PLC ומדריכי תחזוקה למשתמש.

הפעלת-אתר:מהנדסי שירות בשטח מפקחים על חבלול, חיבור לחדר נקי, אימות שירות (מי קירור, CDA, חשמל) ובדיקות קבלה לאתר (SAT).

הכשרת מפעילים:ידיים מובנות-בהדרכה המכסה תחזוקה שוטפת, פתרון תקלות ואקום ועריכת מתכונים למהנדסי תהליכים.

זמינות חלקי חילוף:רכיבים קריטיים (ערכות איטום, ספינות מיגון, חוטים, גבישי QCM) מצוידים למשלוח ישיר.