ציוד רב-לשקע יונים

המערכת התעשייתית -Arc Ion Deposition יוצרת סרטים דקים צפופים-בהיצמדות גבוהה באמצעות אידוי קשת קתודית במתח- גבוה- ונמוך-. חומרי מטרה מוצקים (קתודות) מתאדים באווירת גז תגובתית (כגון N2, O2 או C2H2) כדי לסנתז ציפוי תרכובות סטוכיומטרי. ציוד זה תוכנן לשיעורי יינון גבוהים העולה על 80%, ומניב חוזק הדבקה-ל-מצע יוצא דופן המותאם לסביבות עומס מכני קיצוני.

טכנולוגיית קשת מסוננת מגנטית:סלילים מגנטיים משולבים מסיטים חלקיקי מאקרו וטיפות- מזרם המצע, ומייצרים משטחים -חלקים במיוחד של טיפות-לאופטיקה מדויקת וכלי חיתוך.

בקרת זרימת גז-סגורה:בקרי זרימת מסה של MKS מווסתים את הלחץ החלקי של הגז התגובתי בתוך ספי יציבות של +/- 0.1 sccm במהלך שלבי השקיעה תגובתיים.

ניהול טמפרטורת מצע:מאגר חימום קרינה הניתנים לתכנות בשילוב עם קירור גז ארגון בצד האחורי שומרים על תקציבים תרמיים של המצע בין 150C ל-600C.

מתכוני תהליך אוטומטי:ארכיטקטורת בקרה מבוססת -PLC המבצעת פרוטוקולי שיקוע מרובי-שלבים מניקוי יונים, תחריט בין שכבות שיפוע ועד ציפוי פונקציונלי מסוף.

משאבת חיספוס:שילוב משאבה מכנית של מפוח שורשים ומשאבה סיבובית (ליין בסיס לייבולד / אדוארדס).

משאבת ואקום גבוה:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

הערכת שווי וצנרת:שסתומי שער ואקום מפלדה פנאומטיים-פניאומטיים, שסתומי זווית פניאומטיים, ודליפות KF/ISO אטומות-אלסטומר-נבדקו באמצעות ספקטרומטריית מסה הליום (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

ניטור לחץ:מדי יינון משולבים של Pirani ו-Cold Cathode מספקים-משוב בזמן אמת על פני האטמוספירה לטווחי ואקום- גבוהים במיוחד.

חומרי יעד:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

חומרי מצע:

• Cemented Carbides (WC-Co)
• פלדות במהירות-(HSS)
• פלדות סגסוגת (SKD11, 316L, 4140)
• סגסוגות טיטניום (Ti-6Al-4V)
• קרמיקה הנדסית וחום-סגסוגות-על עמידות

כלי חיתוך ועיצוב:שקיעה של ציפויים TiAlN, AlCrN ו-TiCN על כרסום קצה, תוספות, כיריים ומטות הטבעה כדי להגדיל את קשיות פני השטח ל-3200 HV ועמידה בפני בלאי שוחק.

רכיבי רכב:שקיעת פחמן קשיח (DLC) ו-CrN על טבעות בוכנה, פיני הזרקת דלק וגילי זיזים כדי להפחית את מקדמי החיכוך מתחת ל-0.1 בתנאי ריצה יבשים.

שתלים רפואיים:ציפויי דיפוזיה תואמים ביולוגיים TiN ו-ZrN על קובלט-כרום וטיטניום במפרקי הברך והירכיים, ממזערים את שטיפת יוני המתכת ויצירת פסולת בלאי.

חומרת תעופה וחלל:ציפוי מחסום עמיד בפני-חמצון עבור להבי טורבינה ומכלולי מחברים הפועלים בסף תרמי גבוה.

גיאומטריה קאמרית:סוג בור -אנכי, טעינה- קדמית אופקית, או-מעבר דלת כפול-תצורות מותאמות לפריסות רצפות קיימות של-חנות.

שילוב מקור:תצורות היברידיות הממזגות מקורות קשת קתודיים עם קתודות מקרטעת מגנטרון (Ums) לא מאוזנות בתוך תא יחיד.

ג'יג'ינג ומתקנים:מתקנים ייעודיים לפלנטרים או סיבובים כפולים-מתוכננים באמצעות הדמיית CAD/FEM עבור גיאומטריות רכיבים ספציפיים (למשל, קוביות אקסטרוזיה ארוכים או ברגים כירורגיים מורכבים).

תקני ניהול איכות:תוכנן, יוצר ונבדק תחת ניהול איכות ISO 9001:2015 ומערכות ניהול איכות הסביבה ISO 14001.

יכולת מעקב תעופה וחלל רפואית:בקרות תהליכים ופרוטוקולי תיעוד בהתאמה מלאה לדרישות NADCAP AC7102 (טיפול בחום/שיפור פני השטח) לפי בקשה.

שלמות דליפה:כל כלי ואקום עובר בדיקת דליפת ספקטרומטר מסה של הליום לפני חתימת ההרכבה-.

בטיחות חשמל:בדיקות התנגדות בידוד במתח גבוה- ובדיקות המשכיות הארקה בהתאם לתקני CE / IEC.

הרץ-את הבדיקה:בדיקות סיבולת של 72-שעות רצופות-שעות של כונני סיבוב מכאניים, מתגי זרימת קירור מים ומערכות נעילת PLC.

תוצרי תיעוד:אישורי בדיקת טחנת חומרים (MTC), אישורי בדיקת דליפת ואקום, חבילות סכמטיות חשמליות ודוחות כיול חיישנים NIST-ניתנים למעקב.

הנחיות הכנת אתר:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 m^3/h), טווחי טמפרטורות סביבה, אוורור פליטה וירידות חשמל (תלת פאזי, 380V/480V, 50/60Hz).

שירותי הזמנה:מיקום מכני-באתר, אינטגרציה של צנרת ואקום, חיבור לחשמל ואופטימיזציה של מתכונים בסיסיים המבוצעים על ידי מהנדסי שירות שטח בכירים תושבים.

הכשרת מפעילים:הכשרה אינטנסיבית של 5- ימים באתר המתייחסת לתחזוקה שוטפת, פתרון בעיות בוואקום, פרוטוקולי החלפת יעדים וכוונון פרמטרים עבור מבני סרט ספציפיים.

מלאי חלקי חילוף:רכיבי שחיקה קריטיים (מבודדי קתודה, מגני חלל כהים, אטמים דינמיים ומערכים של חוטים) מצוידים במלאי אזורי למשלוח תוך 48 שעות.