מערכת IBAE משלבת קרן-אלקטרון או אידוי תרמי עם מקור יונים משולב- רחב. הפצצת יונים בו-זמנית במהלך צמיחת הסרט מעבירה אנרגיה קינטית לעיבוי אדאטומים, מבטלת מבני מיקרו עמודים ויוצרת סרטים דקים בצפיפות- קרובה ל-תפזורת-עם תזוזה ספקטרלית- מינימלית.
מפרט טכני
|
פָּרָמֶטֶר |
מִפרָט |
|
לחץ בסיס |
<= 5.0 x 10^(-5) Pa (achieved within 35 minutes) |
|
לחץ עבודה |
1.0 x 10^(-1) עד 1.0 x 10^(-2) Pa |
|
סוג מקור יון |
Gridless End-Hall / Kaufmann Ion Source |
|
אנרגיית קרן יונים |
50 eV עד 1500 eV (לולאה-סגורה מיוצבת) |
|
צפיפות זרם קרן יונים |
0 עד 2.5 mA/cm^2 |
|
מקורות אידוי |
אקדח E-רב-כיסים (4 x 15 סמ"ק עד 6 x 40 סמ"ק) / סירות התנגדות |
|
מחזיק מצע |
מתקן סיבוב פלנטרי עם חימום עד 300 מעלות צלזיוס |
|
אחידות עובי |
<= plus/minus 0.5 percent over 400 mm diameter |
|
מערכת בקרה |
סימנס S7-1500 PLC + PC תעשייתי (בקר בתצהיר אינפיקון) |
תכונות מפתח
הפצצת מצב כפול{{0}:העברת אנרגיה קינטית מצפיפת סרטים בטמפרטורות מצע נמוכות, ומגינה על אופטיקה עדינה ועל מצעים פולימריים.
ייצוב יון-סגור:בקרי זרימת המונים משולבים שומרים על שטף יונים קבוע לאורך ריצות ייצור ארוכות, ומבטיחים עקביות אצווה.
תא ואקום מודולרי:מבנה נירוסטה 304L עם פנים אלקטרו-מלוטש (Ra<= 0.2 um) and Conflat metal seals.
רצף אוטומטי:מחזורי -משאבה מנוהלת- PLC, הפחתת שקעים ואוורור ממזערים את השונות התפעולית.
תצורת מערכת ואקום
משאבות חיספוס:שורשים יבשים ללא שמן- ומשאבות שבשבת סיבוביות.
משאבת ואקום גבוה:משאבה טורבומולקולרית מרוחקת מגנטית (1600 ליטר/שניה).
מדדים:שילוב של מדדי קיבול של פיראני, קתודה קרה ו-Baratron.
שסתומים:שער פנאומטי ושסתומי זווית עם מנעולים בטיחותיים.
חומרי אידוי ותאימות מצע
תחמוצות:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, Al2O3
פלואורידים:MgF2, LaF3
מתכות:Au, Ag, Al, Ti, Cr
תשתיות:סיליקה מותכת, BK7, פרוסות סיליקון, גרמניום, סלניד אבץ (ZnSe) ופולימיד עמיד בחום-.
יישומים
אופטיקה מדויקת:מסנני מעבר צר וציפוי DWDM הדורשים אורכי גל מרכזיים יציבים.
אופטיקה לייזר:מחזירי סף-לנזקים- גבוהים וציפוי אנטי-השתקפות.
מוליכים למחצה ופוטוניקה:שכבות הגנה דיאלקטריות, פסיבציה ומובילי גל אופטיים.
אנרגיה סולארית:שינוי ממשק תחמוצת מוליכה (TCO) שקוף.
התאמה אישית
גודל תא:קטרים ניתנים להרחבה מ-600 מ"מ עד 1200 מ"מ.
פריסת מקור:עד שלושה תותחי קרן- ומקורות תרמיים מרובים לכל פלטפורמה.
ב-מטרולוגיה באתר:ניטור אופטי בפס רחב (BOM) או אינטגרציה של קוורץ גביש מיקרואיזון (QCM).
אוטומציה:ממשקי טעינת מצע רובוטי תואמים לתקני SEMI.
בקרת איכות
איתור דליפות:בדיקת ספקטרומטר מסת הליום לכל תא (רגישות<= 1 x 10^(-10) Pa*m^3/s).
מקורות רכיבים:מותגים תעשייתיים ברמה 1 (Inficon, MKS, Edwards, Siemens).
קבלת מפעל (FAT):ריצה יבשה רציפה של 72 שעות וציפוי אימות מדידת מקדם השבירה והאחידות לפני המשלוח.
התקנה ותמיכה טכנית
תיעוד:חבילה מלאה באנגלית הכוללת שרטוטים חשמליים, דיאגרמות P&ID וקודי מקור PLC.
שירותי שטח:התקנת מפתח, כיול ואקום וכוונון מתכונים על ידי מהנדסי אפליקציות.
אבחון מרחוק:מודול VPN מאובטח לפתרון בעיות בתוכנה ותהליכים.
שאלות נפוצות
ש: כיצד סיוע יונים משנה את אינדקס השבירה של תחמוצת?
ת: הפצצת יונים אנרגטית מוציאה גזים שיוריים כלואים ומצמצמת את מבנה המיקרו, ומעבירה את מקדם השבירה של סרטים כמו Ta2O5 ו-TiO2 קרוב יותר לערכי כמות גדולה.
ש: מהו מרווח התחזוקה הטיפוסי למקור היונים?
ת: מרווחי התחזוקה נעים בין 150 ל-300 שעות עיבוד, בהתאם לגזי התהליך וצפיפות הספק ההפעלה.
ש: האם מערכת זו יכולה לנהל תהליכי גז ריאקטיביים?
ת: כן. בקרי זרימת מסה עצמאיים מזריקים גזים תגובתיים (O2, N2) ישירות לאזורי מקור היונים והתא, הכלולים במתגי לחץ בטיחותיים.
תגיות פופולריות: ציוד אידוי בעזרת אלומת יונים, יצרנים, ספקים, מפעלים של ציוד אידוי בעזרת אלומת יונים
