מערכת התקנת סרטים דקים בסיוע יונים{{0}

מערכת ה--Ion Assistant Thin Film Deposition משלבת -אלקטרון-רב-כיס/איוד תרמי עם -ביצועים גבוהים של מקור יונים מסוג End-Hall או Kaufman-. במהלך שקיעת אדים פיזית (PVD), הפצצת יונים אנרגטית מעבירה מומנטום ישירות לאדאטומים על פני המצע, מבטלת חללים מיקרו-מבנה עמודים ויוצרת סרטים דקים יציבים לסביבה בצפיפות- גבוהה.

פלטפורמה זו, אשר תוכננה לייצור אופטיקה מדויקת, מיקרו-אלקטרוניקה מוליכים למחצה ומתקני מו"פ מתקדמים, מספקת יכולת חזרה קפדנית של-ל-אצווה עבור מסנני הפרעות אופטיות מורכבות, מעילי הגנה קשיחים ושכבות פסיבציה של מוליכים למחצה.

מומנטום-מבנה מיקרו משופר:סיוע ביונים מבוקר מגביר את ניידות משטח אדאטום, מדכא ביעילות צמיחת גרגירים עמודים נקבוביים ומבטל שינויים באינדקס השבירה הנגרמים מספיגת לחות.

משוב על עובי ערוץ כפול{{0}:משלב בדיקות מיקרו-איזון גבישי כפול קוורץ (QCM) לצד יציאות ניטור אופטי בפס רחב (BOM) ל-זמן אמת ננומטר- עובי ווויסות קצב.

תא ואקום נקי במיוחד{{0}:בנוי מפלדת אל-חלד 304L עם גימורים פנימיים אלקטרו-מלוטשים, שסתומי שער מע"מ אטומים-מתכתיים ואוגני אטם פנאומטיים מתכת- כדי למזער את יציאת הגזים.

ויסות גז תגובתי-סגור:בקרי זרימת מסה-בדיוק גבוה (MFC) מודדים גזי חמצן, חנקן וארגון תגובתיים ברזולוציה תת--sccm לאבטחת שכבות תרכובות סטוכיומטריות.

קו חיספוס:משאבות גלילה יבשות אטומות הרמטיות ללא-שמן מונעות סיכוני זיהום פחמימנים בשלבי חיספוס וחזית.

שילוב ואקום גבוה:משאבות טורבומולקולריות של Maglev המחוברות ישירות לתא הראשי באמצעות שסתומי שער פנאומטיים-עם מוליכות גבוהה ממקסמות את מהירות השאיבה עבור אדי תהליך ואדי מים שיוריים.

אבחון ואקום:מדי Pirani ו-Cold Cathode מיותרים מספקים רישום לחץ צלב-מכויל מאטמוספירה עד ל-10⁻⁷ Pa.

חומרי אידוי:תחמוצות דיאלקטריות: SiO₂, TiO₂, Ta₂O5, Nb₂O5, HfO₂, Al₂O₃

פלואורידים:MgF₂, LaF₃

מתכות חסינות:Au, Ag, Al, Ti, Cr, NiCr

תת סוגי מצע:חלקי זכוכית אופטיים (BK7, סיליקה מתמזגת, קוורץ), פרוסות מוליכים למחצה (סיליקון, GaAs), מצעי גביש בודדים (LiNbO₃, ספיר) ורכיבי מתכת מדויקים.

אופטיקה מדויקת:מסנני ריבוי גלים באורך גל צר-(WDM), מראות קווי לייזר וציפוי אנטי-השתקפות (AR) עמידים למערכות לייזר-בהספק גבוה.

ייצור מוליכים למחצה:דיאלקטריים של תחמוצת שערים, שכבות זרעי הידבקות בין מתכת חיבורי מתכת, ומעלי פסיבציה של מחסום לחות-.

אלקטרוניקה אופטו מתקדמת:מקטבי סרטים דקים-, שכבות חיפוי של מולי גל וסרטי לוח מגע- של תחמוצת מוליכים שקופים (TCO).

מארזי תא:צילינדר אנכיים-צנצנות, תצורות של קופסאות ריבועיות-כפולות בדלת, או עיצובים של מעבר לחדר נקי-.

מודולריות מקור:ספירת כיסים מותאמים אישית של כור היתוך, אינטגרציה של קתודית מקרטעת מגנטרון משנית, או הגדרות מיוחדות להטיית RF.

ארכיטקטורת אוטומציה:לוגיקת נעילת PLC מותאמת אישית, שכבות הרשאות אבטחה SCADA ופרוטוקולי רישום של נתוני -מארח SECS/GEM.

אימות רכיב:כל האוגנים המבניים, הזנות הוואקום, האלקטרוניקה הכוח ובקרי זרימת המונים עוברים בדיקות מימדיות וחשמליות אינדיבידואליות לפני ההרכבה.

אישור דליפות:חדרים מורכבים עוברים בדיקת דליפת ספקטרומטר מסה הליום; סף הדחייה חייב להישאר מתחת ל-1.0 × 10⁻⁹ Pa·m³/s.

בדיקת קבלת מפעל (FAT):אימות חובה של 72-שעות רציפה-שמכסה עקומות ירידת שאיבה, מכניקת סיבוב פלנטרי מרובה-צירים, לולאות בטיחות משתלבות ויציבות פליטת אקדח אלקטרוני.

תיעוד:משלוחים עם שרטוטי הרכבה מכאניים, שרטוטים חשמליים, פריסות P&ID, אוגרי מקורות לוגיקה PLC ומדריכי תחזוקה מונעת.

הפעלת-אתר:מהנדסי שירות בשטח מכוונים מיקום מכני, חיבורים לשירותים (חשמל, מי קירור, אוויר דחוס) ואפייה ראשונית של המערכת-.

אימון תהליכים:כולל ריצות כיול בסיס, כוונון פרמטרים של מקור יונים והדרכה בפרוטוקול בטיחות המפעיל.

טיפול במחזור החיים:תמיכה באבחון מרחוק באמצעות מודולי VPN מוצפנים, מלאי חלקי חילוף אזורי וביקורות כיול מתוזמנות.