ציוד אידוי ואקום בסיוע יונים{{0}

מערכת אידוי ואקום בסיוע יונים-משלבת מקורות אידוי-תרמיים בוואקום או-אלקטרונים גבוהים עם מקור יוני של קאופמן-או סוף-הול. על ידי הפצצת הסרט הגדל בגז מיונן (Ar או O2) במהלך שקיעת אדים פיזית (PVD), המערכת מעבירה אנרגיה קינטית לאדאטומים, מדכאת מיקרו-מבנה עמודים ומונעת ספיגת לחות בסרטים דקים אופטיים ודיאלקטריים.

המערכת נבנתה לאינטגרציה של חדרים נקיים וייצור מתמשך ב-משמרות, ומדרגת את קנה המידה מטביעות מחקר ופיתוח (תאי 300 מ"מ) לקווים תעשייתיים- עם תפוקה גבוהה (900 מ"מ כפולות-תצורות סיבוב של דלתות וסיבובים פלנטריים).

קרוב ל-צפיפות בתפזורת:ניידות משטח אדאטום מוגברת מבטלת את נקבוביות הסרט הנראית לעין וממקסמת את הקשיות המכנית.

כוונון מתח פנימי:אנרגיית אלומת יונים מתכווננת מנטרלת מתח מכני, ומונעת דה למינציה על ערימות דיאלקטריות עבות.

עיבוד תקציב-תרמי- נמוך:צפיפות-מונעת מומנטום מאפשרת ציפוי-בביצועים גבוהים על מצעי פולימרים רגישים לטמפרטורה-ללא עיוות תרמי.

אוטומציה של מתכונים:PLC-שלבי ואקום מבוקרים וריצוף{1}}שאיבה למטה המנוהלים באמצעות לוח HMI מגע תעשייתי-עם רישום נתונים.

שלב חיספוס:משאבה מכנית סיבובית דו-שלבית-בשילוב עם מפוח שורשים (מהירות של 150 ליטר לשנייה) להצלבה מהירה.

שלב ואקום גבוה:משאבה טורבו-מולקולרית מרוחקת מגנטית (1600 ליטר/שניה) מגובה במשאבת גלילה יבשה ללא שמן- כדי למנוע זרימה לאחור של פחמימנים.

אפשרות קריוגנית:מלכודת קור של חנקן נוזלי ושילוב קריו-משאבה ללחצים חלקיים של- מים נמוכים.

מדידת ואקום:מדדי Pirani ו-Cold Cathode מכוילים-למשוב בזמן אמת מהאטמוספירה ל-10^-7 Pa.

חומרי אידוי
תחמוצות:SiO2, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, Al2O3

פלואורידים:MgF2, LaF3

מתכות:Al, Ag, Au, Ti, Cr

תאימות מצע
מצע אופטי:חלונות סיליקה ממוזגים, N-BK7, סיליקון, גרמניום וסלניד אבץ.

וויפלים מוליכים למחצה:100 מ"מ עד 300 מ"מ פרוסות סיליקון ומוליכים למחצה מורכבים.

פולימרים:סרטי PET, PI (פולימיד) ו-PMMA תוך שימוש בפרמטרים של IAD בטמפרטורה-נמוכה.

אופטיקה מדויקת:ציפויים אנטי-מחזירי אור (AR), מראות לייזר ומסנני פס צרים הדורשים עמידות בפני לחות.

מיקרו אלקטרוניקה:אלקטרודות לשער מתכת, שכבות הדבקה ומחסומי פסיבציה באריזה מוליכים למחצה.

אופטואלקטרוניקה:מגעי תחמוצת מוליכים שקופים (TCO) ושכבות לחות OLED-.

גיאומטריה קאמרית:מבנים מלבניים או גליליים המותאמים לאילוצי קיר בחדר נקי.

אינטגרציה מרובת-מקורות:הגדרות אידוי משותף היכולות להכיל עד שלושה תותחי קרן E- וארבע סירות תרמיות.

ב-יציאות מטרולוגיה באתר:יציאות אינטגרציה של אוגן עבור אליפסומטרים ספקטרוסקופיים או מערכות ניטור אופטיות.

רמת אוטומציה:בניית מחקר חצי-אוטומטית או אוטומטית לחלוטין מקלטת-ל-טיפול בקסטות פרוסות.

איתור דליפות:בדיקת ספקטרומטר מסת הליום בכל תא עם סף דחייה קפדני של < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

אימות ניקיון:סריקת מנתח גז שאריות (RGA) בוצעה לפני-משלוח כדי לאמת אפס פחמימנים אורגניים.

צריבת מערכת-ב:בדיקה רציפה של 72-שעות של כוננים מכניים, סעפות קירור ומנעולים חשמליים.

תיעוד:תעודות בדיקת טחנת חומרים (MTRs), שרטוטים חשמליים ודוחות בדיקת מפעל (FAT).

הכנת האתר:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 m^3/h), אוויר יבש נקי (CDA) ופליטה.

הַזמָנָה:פריסת שירות בשטח עבור פילוס מכני, חיבור לשירותים, כיול ואקום וסימני מתכון-.

הכשרת מפעילים:תוכנית 5-ימים באתר המכסה תפעול, תחזוקה מונעת, פתרון תקלות ומנעולים בטיחותיים.

חֲלָפִים:פריטי שחיקה קריטיים (פילמנטים, גבישי QCM, אטמים, מיסבים טורבומולקולריים) מצויים במלאי אזורי.