סקירת מוצר
ה-IAE-Series Ion-Assisted Evaporation Thin Equipment משלב שקיעת אדים פיזית (PVD) עם הפצצת אלומת יונים-בזמן אמת. על ידי הפניית יונים אנרגטיים אל המצע במהלך אידוי קרן -תרמי או אלקטרונים, המערכת מעבירה מומנטום לאדאטומים המתעבים, ובונה מחדש את המיקרו-מבנה של הסרט הגדל.
העברת אנרגיה קינטית זו מבטלת חללים בעמודים, מדכאת ספיגת לחות ונועלת את מקדם השבירה מפני שינויים בלחות הסביבה. הפלטפורמה נבנתה לפעולה רציפה בריבוי-משמרות בקווי ייצור אופטיים ומוליכים למחצה, ומטפלת במצעים החל מאופטיקה לייזר ברמת דיוק גבוהה- ועד לפרוסות סיליקון.
-
![ציוד אידוי ואקום בסיוע יונים{{0}]()
ציוד אידוי ואקום בסיוע יונים{{0}מערכת אידוי ואקום בסיוע יונים-משלבת מקורות אידוי-תרמיים בוואקום או-אלקטרונים גבוהים עם מקור יוני של קאופמן-או סוף-הול. על ידי הפצצת הסרט הגדל בגז מיונן (Ar או O2) במהלך שקיעת אדים פיזית (PVD),...צפה בעוד -
![מערכת התקנת סרטים דקים בסיוע יונים{{0}]()
מערכת התקנת סרטים דקים בסיוע יונים{{0}מערכת ה--Ion Assistant Thin Film Deposition משלבת -אלקטרון-רב-כיס/איוד תרמי עם -ביצועים גבוהים של מקור יונים מסוג End-Hall או Kaufman-. במהלך שקיעת אדים פיזית (PVD), הפצצת יונים אנרגטית מעבירה...צפה בעוד -
![ציוד אידוי בעזרת קרן יונים]()
ציוד אידוי בעזרת קרן יוניםמערכת IBAE משלבת קרן-אלקטרון או אידוי תרמי עם מקור יונים משולב- רחב. הפצצת יונים בו-זמנית במהלך צמיחת הסרט מעבירה אנרגיה קינטית לעיבוי אדאטומים, מבטלת מבני מיקרו עמודים ויוצרת סרטים דקים בצפיפות-...צפה בעוד -
![ציוד-בסיוע להנחת יונים]()
ציוד-בסיוע להנחת יוניםציוד ה-IA-Ion-Assisted Thin Film Deposition Equipment משלב אידוי תרמי של-אלקטרון עם מקור יוני קאופמן או End-Hall. הפצצת יונים אנרגטית (תערובת ארגון/חמצן) במהלך השקיעה מעבירה מומנטום לאדאטומים,...צפה בעוד -
![מערכת סרטים דקים-בסיוע יונים]()
מערכת סרטים דקים-בסיוע יוניםמערכת ה-Ion-Assisted Evaporation (IAE) Thin Film System משלבת שקיעת אדים פיזית (PVD) עם הפצצת אלומת יונים אנרגטית. במהלך אידוי קרן -תרמי או אלקטרוני, מקור עזר של קאופמן או End-Hall מכוון ארגון או...צפה בעוד -
![ציוד לסרט דק בסיוע יונים-]()
ציוד לסרט דק בסיוע יונים-מערכת-יונים-תעשייתית (IAE) המשלבת אידוי -אלקטרוני כיס- מרובים עם מקור אלומת יונים אנרגטית (תצורת End-Hall או Kaufman). הפצצת יונים-בזמן אמת מעבירה מומנטום קינטי לעיבוי אדאטומים, מדכאת צמיחת...צפה בעוד
מפרט טכני
|
פָּרָמֶטֶר |
מִפרָט |
|
לחץ בסיס אולטימטיבי |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
מקורות אידוי |
רובה E-רב-כיס רב (4 × 15 סמ"ק עד 40 סמ"ק) ומקורות תרמית התנגדות |
|
סוג מקור יון |
מקור יונים מסוג -Gridless End-/Kaufman- (מתח אלומה: 50 – 1500 V, זרם יונים: 0.1 – 3 A) |
|
בקרת עובי הסרט |
מיקרואיזון גביש קוורץ (QCM) + מערכת ניטור אופטית (OMS), דיוק ± 0.1 ננומטר |
|
קיבוע מצע |
מתקן סיבוב פלנטרי, רדיוס כיפה מותאם אישית לגיאומטריית המצע |
|
חימום מצע |
מערך חימום קרינה, עד 350 מעלות עם אחידות PID של ± 2 מעלות |
|
ארכיטקטורת בקרה |
PLC + PC תעשייתי, ביצוע אוטומטי של מתכונים, רישום נתונים תואם SECS/GEM |
תהליך הפקדה-בסיוע יונים
יצירת אדים:
החומר מתאדה מכור ההיתוך ה-e- או הסירה התרמית בקצבי שקיעה מבוקרים (0.1 - 2.0 ננומטר לשנייה).
01
העברת מומנטום:
יונים אנרגטיים (Ar⁺, O⁺) מפציצים את פני המצע במקביל לשטף האדים המגיע מהקרן E- או מהמקור התרמי.
02
שינוי מבנה מיקרו:
פגיעת יונים משפרת את הניידות של פני השטח של אדאטום, מונעת צמיחת גרגירים עמודים ומשיגה צפיפות- כמעט (צפיפות אריזה > 99%).
03
תיקון סטוכיומטריה:
סיוע ביונים תגובתיים (O₂) מבטיח חמצון מלא של תת--תחמוצות בסרטי תחמוצת מתכת (למשל, Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂), מבטל פסי ספיגה בספקטרום ה-UV-NIR.
04
חומרי סרט
תחמוצות:
SiO₂, Ta₂O5, TiO₂, Nb₂O5, HfO₂ (יציבות מקדם שבירה גבוה עבור מסננים אופטיים).
פלואורידים:
MgF₂, LaF₃ (שכבות אינדקס שבירה נמוך עבור ציפויי AR בפס רחב).
מתכות:
Al, Ag, Au, Ti (שכבות הדבקה ומחזירי אור מתכתיים).
יישומים
לייזר ודיוק אופטיקה:
מסנני פס פס, מראות דיכרואיות וציפוי לייזר מגן הדורשים לייזר-סף נזק גבוה (LIDT) ואפס תזוזה ספקטרלית במתח תרמי.
זכוכית כיסוי LiDAR:
סרטים דקים עמידים נגד-רפלקטיביות (AR) ונגד-לכלוך, עמידים בפני מזג אוויר קשה בחוץ.
אריזת מוליכים למחצה:
שכבות מעטפת מחסום לחות ורפידות מגע מתכת שהופקדו בטמפרטורות מצע נמוכות.
חיישנים ביו-רפואיים:
ציפויי הפרעות אופטיות תואמות ביולוגיות עבור שבבים מיקרופלואידיים אבחנתיים.
התאמה אישית
תאים ופריסות פנימיות מתוכננים לפי טביעות רגליים ספציפיות של ייצור ודרישות תהליך:
מידות תא:
ניתן להרחבה מיחידות מחקר ופיתוח של=600 מ"מ למערכות ייצור בעלות קיבולת=1200 מ"מ גבוהה-.
חבילות שאיבה:
ניתן להגדרה עם משאבות טורבומולקולריות של Maglev, משאבות קריו-משאבות וקווי גיבוי למפוחי Roots על בסיס דרישות עומס גז.
שילוב מקור:
תצורות- כפולות של מקור יונים או הגדרות שיתוף-ת עבור סרטי סגסוגת מורכבים ורב- שכבתיים.
רמת אוטומציה:
אינטגרציה עם מערכות אוטומטיות להעברת מצע לחדר נקי (EFEM / כלי מקבץ ואקום).
בקרת איכות
איתור דליפות:
כל תא ואקום נבדקת דליפת הליום-באמצעות ספקטרומטר מסה (קצב דליפה < 1.0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).
עקיבות רכיבים:
שסתומי ואקום, בקרי זרימת המונים (MFC) וספקי כוח שמקורם במותגים תעשייתיים מוסמכים Tier-1 (MKS, Inficon, VAT).
בדיקת קבלת מפעל (FAT):
הפעל-בדיקות המאמתות את לחץ הבסיס, עקומת השאיבה, יציבות המקור וסיבולת רציפה של 24-שעות בתא ריק לפני המשלוח.
אימות מטרולוגי:
ריצות מדגם מאומתות באמצעות ספקטרופוטומטר (שידור/שתקפות) ומיקרוסקופיה של כוח אטומי (חספוס פני השטח Ra < 0.5 ננומטר).
התקנה ותמיכה טכנית
מדריך הכנת האתר:
דרישות שירות מקיפות מסופקות לפני המסירה (זרימת מי קירור/לחץ, אוויר דחוס בחדר נקי, חלוקת חשמל, יציאת פליטה).
הזמנת מפתח:
מהנדסי שירות בשטח מטפלים בהרכבה מכנית, אפייה בוואקום-, כיול אלומת יונים וסימני תהליך ראשוני של מתכונים- באתר-.
הכשרת מפעילים:
ידיים מובנות-בהדרכה המכסה תחזוקה שוטפת, בטיחות שואב אבק, תפעול תוכנה ופתרון בעיות.
תמיכה במחזור החיים:
ממשק אבחון מרחוק לפתרון תקלות תוכנה מהיר; מלאי אזורי של פריטי שחיקה קריטיים (חוטים, כור היתוך, מגנים) נשלח תוך 48 שעות.
שאלות נפוצות
אנחנו-ידועים כאחד היצרנים והספקים המובילים של ציוד לסרט דק באיוד-בסיוע יונים בסין. אם אתה מתכוון לקנות ציוד לסרט דק בסיוע יונים-תוצרת סין, מוזמן לקבל מחירון מהמפעל שלנו. לייעוץ מחירים צרו קשר.
