סקירת מוצר
ציוד לציפוי יונים רב-תעשייתי שנועד להחלת ציפויים קשים, סרטים פונקציונליים וגימור PVD דקורטיבי על רכיבים מדויקים. באמצעות פריקת קשת ואקום בזרם גבוה-נמוך-, המערכת מאדה ישירות חומרי מטרה מוצקים (Ti, Cr, Al, Zr). בשילוב עם גזים תגובתיים (N2, O2, C2H2), הוא מסנתז ניטרידים, קרבידים ותחמוצות מתכת מעבר צפופים ישירות על גבי מצעים מתכתיים.
נבנה על ארכיטקטורת תאי ואקום מודולרית, פתרון PVD סוהר זה מתאים להיקפי ייצור שונים-מעיבוד אצווה של מו"פ ועד לייצור מוטבע אוטומטי-תפוקה גבוהה. המערכת מותאמת לניצול יעד גבוה ולעלות בעלות כוללת נמוכה (TCO) בסביבות תעשייתיות מתמשכות 24/7.
-
![ציוד רב-קשת ואקום]()
ציוד רב-קשת ואקוםמערכת השקעת ואקום מרובת-קשתות זו משתמשת בטכנולוגיית ציפוי יוני קשת קתודית להנחת ציפויים קשיחים צפופים ובעלי הדבקה גבוהה-על מצעים מתכתיים ולא-מתכתיים. על ידי הפעלת קשת זרם-נמוכה וגבוהה-על מטרות...צפה בעוד -
![מערכת מרובת-קשת יונים]()
מערכת מרובת-קשת יוניםThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% יינון של חומר קתודה מוצק,...צפה בעוד -
![ציוד רב-Arc PVD לסרט דק]()
ציוד רב-Arc PVD לסרט דקמערכת Multi-Arc PVD תעשייתית משתמשת בתצהיר אדי קשת קתודי גבוה-מיוניזציה כדי להפקיד ציפויים קשיחים צפופים וסטוכיומטריים (כגון TiN, TiAlN, CrN ו-DLC) על גבי מצעים מתכתיים. מערכת זו תוכננה למרכזי...צפה בעוד -
![ציוד רב-לשקע יונים]()
ציוד רב-לשקע יוניםהמערכת התעשייתית -Arc Ion Deposition יוצרת סרטים דקים צפופים-בהיצמדות גבוהה באמצעות אידוי קשת קתודית במתח- גבוה- ונמוך-. חומרי מטרה מוצקים (קתודות) מתאדים באווירת גז תגובתית (כגון N2, O2 או C2H2)...צפה בעוד -
![מערכת רב-Arc Ion Thin Film]()
מערכת רב-Arc Ion Thin Filmמערכת Multi-Arc Ion Thin Film System משתמשת באידוי קשת קתודי להנחת ציפויים קרמיים ומתכתיים צפופים ובעלי הדבקה גבוהה- על מצעי מתכת וסגסוגת. על ידי אידוי חומרי קתודה מוצקים בסביבת ואקום באמצעות...צפה בעוד -
![ציוד לסרטים דקים של-Arc Ion]()
ציוד לסרטים דקים של-Arc Ionמערכת ציפוי יונים מרובת-קשת זו משתמשת באידוי קשת קתודי להנחת ציפויים קשיחים צפופים ובעלי הדבקה גבוהה- וסרטים דקים פונקציונליים. על ידי פגיעה בקשת-זרם גבוה, נמוך-על מטרות קתודה מוצקות, החומר מתאדה...צפה בעוד
מפרט טכני
|
פָּרָמֶטֶר |
טווח מפרט |
יחידה / הערה |
|
מידות קאמרית |
Ф600 x 600 עד Ф1500 x 1800 |
מ"מ (תצורות אנכיות או אופקיות מותאמות אישית) |
|
לחץ ואקום אולטימטיבי |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (משאבה יבשה + טורבו-מולקולרית / סט דיפוזיה של שמן) |
|
מקורות קשת קתודה |
4 עד 16 יחידות |
מקורות קשת מנוה אלקטרומגנטי או מסונן (FCA) |
|
כוח הטיית מצע |
0 עד -1000 |
V (יכולות הטיה מתקדמות של Pulsed DC / MF) |
|
טמפרטורת חימום |
טמפרטורת החדר עד 600 |
C (תנורי קרינה בשליטה PID) |
|
אחידות בתצהיר |
<= +/- 5% |
נמדד באמצעות XRF על פני אזור העבודה היעיל |
|
מערכת בקרה |
PLC + PC תעשייתי |
ביצוע אוטומטי של מתכון, רישום נתונים SCADA |
|
בטיחות ותאימות |
CE, ISO 9001 |
מארזים חשמליים תואמי UL- זמינים לפי בקשה |
רצף השקעת האדים הפיזי פועל על זרימת עבודה אוטומטית-סגורה קפדנית, כדי להבטיח חזרות-ל-אצווה:
פינוי והוצאת גז:
תא הוואקום נשאב למטה ללחץ בסיס של<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
תחריט פלזמה (הפצצה):
גז ארגון מוכנס. הטיה שלילית גבוהה מופעלת על מחזיק המצע, ויוצרת יוני Ar שמפציצים את פני השטח כדי לקלף תחמוצות מקומיות ומזהמים מיקרו-.
אידוי ויינון קשת:
זרם קשת DC פוגע בקתודה המתכתית המוצקה. נקודת הקתודה המקומית מגיעה לצפיפות אנרגיה קיצונית, ומאדה באופן מיידי את חומר המטרה לזרם פלזמה בצפיפות- גבוהה (קצב יינון > 80%).
שיקוע תגובתי:
גזים תגובתיים מוזרקים לשטף הפלזמה בלחצים חלקיים מבוקרים במדויק באמצעות בקרי זרימה מסה (MFCs), ויוצרים סרטי תרכובת סטוכיומטריים על מצעים מסתובבים.
קירור ואוורור:
קירור מבוקר מתרחש תחת הגנה על גז אינרטי לפני אוורור החדר, ומונע את החמצון של חלקים מצופים טריים.
חומרי סרטים ומאפייני ציפוי
המערכת תומכת בסידורי קתודות מתכת מרובות-, המאפשרת ארכיטקטורות חד-שכבתיות, רב-שכבתיות, ננו-מרוכבות וסרטי גרדיאנט:
TiN (טיטניום ניטריד):
ציפוי זהוב סטנדרטי; קשיות 2200–2400 HV; מקדם חיכוך 0.4. שימוש עיקרי: כלי חיתוך כלליים וחלקי בלאי מכניים.
TiAlN (טיטניום אלומיניום ניטריד):
עמידות חמצון-בטמפרטורה גבוהה עד 850 C; קשיות 3000–3300 HV. שימוש עיקרי: תוספות עיבוד יבשות במהירות גבוהה- ושסתומי מנוע.
CrN / CrAlN (כרום ניטריד):
עמידות בפני קורוזיה מעולה ולחץ פנימי נמוך; תכונות נגד-התקפים נגד מתכות לא-ברזליות. שימוש עיקרי: יצירת תבניות, טבעות בוכנה ורכיבי מכונות טקסטיל.
ZrN / TiCN:
חספוס משטח נמוך (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
יישומים
כלי חיתוך מדויק:
כרסמות קצה, מקדחות, כיריים ותוספות ניתנות לאינדקס הדורשים חיי כלי עבודה ארוכים תחת עומסים תרמיים גבוהים.
01
מערכת הנעה לרכב:
פיני בוכנה, ברזלנים, רכיבי הזרקת דלק ומשטחי הילוכים הדורשים חיכוך גבול מופחת והתנגדות לשפשוף.
02
תבניות ותבניות:
תבניות הזרקת פלסטיק, תבניות הטבעה ותוספות יציקה- הדורשות עמידות בפני בלאי דבק ועייפות תרמית.
03
רכיבי תעופה וחלל:
להבי טורבינה ומחברי טיטניום פועלים בסביבות קורוזיביות אגרסיביות ו-גבוהות.
04
התאמה אישית ותצורת מערכת
פריטי קטלוג סטנדרטיים כמעט ולא מתאימים באופן מושלם לפריסות המפעל הייעודיות. תצורות הציוד מותאמות על סמך גיאומטריית רכיבים ספציפיים, יעדי זמן מחזור ומגבלות מתקנים:
גיאומטריה קאמרית:
תאי נירוסטה מתומן או גלילי (SUS304/SUS316L) הכוללים מעילי קירור-כפולים של מים-.
פריסת מקור:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
קיבוע מצע:
סיבוב פלנטרי (ציר 3-) או מנגנוני סיבוב בודד המונעים על ידי הזנת נוזלים מגנטיים כדי להבטיח כיסוי ציפוי אחיד בגיאומטריות תלת ממדיות מורכבות.
אפשרויות ערימת שאיבה:
מפוחי שורשים, משאבות שבשבת סיבוביות, משאבות קריוגניות או משאבות טורבומולקולריות המוגדרות לעמוד בזמני מחזור-קפדניים של משאבה.
בקרת איכות ובדיקות פרוטוקולים
כל מכונה עוברת בדיקות קבלה קפדניות של המפעל (FAT) לפני המשלוח, מתועדות לבדיקת הקונה:
01
בדיקת תקינות ואקום:
זיהוי דליפת הליום באמצעות ספקטרומטריית מסה (קצב דליפה<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
בטיחות חשמל וצריבה-ב:
ריצה יבשה רציפה של 72 שעות של ספקי כוח, מנעולים לקירור מים ולוגיקת אוטומציה של PLC.
03
אימות ציפוי (מעבדה-ביתית):
ריצות לדוגמא נבדקו באמצעות מבחן Calo-(עובי הסרט), הזחה של Rockwell (חוזק הידבקות) וננו-חריץ (קשיות).
התקנה, הפעלה ותמיכה טכנית
הנחיות הכנת אתר:
שרטוטי פריסת שירות מפורטים מסופקים עבור זרימת מי קירור/לחץ, אוויר דחוס, אוורור פליטה ודרישות פס חשמלי.
SAT והפעלה:
התקנת-אתר (בדיקת קבלה לאתר), כיול ואקום ומסירת מתכון בסיסי המבוצעת על ידי מהנדסי תהליכים בכירים ב-PVD.
אימון תהליכים:
הכשרה-ביד על מפעיל המכסה לוחות זמנים להחלפת קתודה, תחזוקה מונעת של ואקום, פתרון בעיות ואופטימיזציה של מתכונים בסיסיים.
תמיכה בחלקי חילוף:
רכיבי בלאי קריטיים (קתודות, מגנים, מבודדים ואטמים) מצוידים למשלוח עולמי תוך 48 שעות.
שאלות נפוצות
אנו-ידועים כאחד היצרנים והספקים המובילים של ציוד לסרטים דקים מרובי-קשת יונים בסין. אם אתה מתכוון לקנות ציוד לסרטים דקים מרובי-קשת יונים תוצרת סין, מוזמן לקבל מחירון מהמפעל שלנו. לייעוץ מחירים צרו קשר.
