מערכת מרובת-קשת יונים

The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% יינון של חומר קתודה מוצק, דוחף הפצצת יונים-באנרגיה גבוהה לתוך ממשק המצע להדבקה מעולה של הסרט בהשוואה לקפיצת מגנטרון.

תא הוואקום מפלדת הנירוסטה הכפולה-דופנות- מכילה מקורות קשת מודולריים ומשאבת PLC-מבוקרת אוטומטית לניהול מחזור-למטה,-תחריט פלזמה באתר, אספקת גז תגובתי ותצהיר רב-שכבתי.

שיעור יינון גבוה:ממזער את פיזור הסרט באמצעות הפצצת יונים צפופה.

יציבות קשת מבוקרת:טריגרים ניתנים לתכנות וויסות זרם-סגור מדכאים היווצרות מאקרו-חלקיקים (טיפות) ומונעים הרעלת מטרה תחת גזים תגובתיים (N2, C2H2, O2).

מקורות קשת מודולריים:מיקומי צד ודלת מתאימים לגיאומטריות מורכבות של כלי תלת מימד לפיזור עובי אחיד.

הטיית מצע פועם:פעימות מתח מסונכרנות מתאימים למתח שיורי, עידון גרגירים וקשיות מיקרו.

שלבי סיבוב-כבדים:מתקנים פלנטריים תומכים בעומסי אצווה של עד 500 ק"ג תחת עומסים תרמיים ואקום גבוהים.

חיספוס ושורשים:משאבות בורג יבשות מרובות- בשילוב עם מפוחי Roots מונעות זיהום פחמימני עד ללחצי מעבר.

ואקום גבוה:משאבות טורבומולקולריות או דיפוזיה מחזיקות בלחץ בסיס גבוה במיוחד-.

לכידה ומדידה:מלכודות קור חנקן נוזלי אופציונלי; מדי-שילוב רחב של Pirani/Cold Cathode.

יעדי קתודה:מתכות טהורות (Ti, Cr, Al, Zr, Mo, W) ומטרות סגסוגת (TiAl, TiSi, CrAl, WC-Co).

חומרי מצע:פלדה במהירות גבוהה-(HSS), תוספות קרביד, פלדות לכלי עבודה קר/חם (SKD11, H13), נירוסטה וסגסוגות טיטניום.

טרום-טיפול:ניקוי אולטראסוני מימי ואחריו חריטה ב-situ Ar+ או הפצצת יונים מתכת כדי להסיר תחמוצות מקומיות.

כלי חיתוך:TiN, TiAlN, and AlCrN coatings on end mills and drills to achieve >קשיות פני השטח 3000 HV ועמידות לחמצון.

תבניות ותבניות:שכבות הגנה על תבניות הזרקה ותבניות הטבעה למניעת התלבשות ושחיקה.

רכב:ציפוי DLC ו-CrN על טבעות בוכנה, גלגלי שיניים ופיני מזרק להורדת מקדמי החיכוך.

מכשירים רפואיים:ציפוי TiN/TiCN תואם ביולוגי על מכשירים ושתלים כירורגיים.

מידות תא ופריסת יציאה:יציאות ניטור פליטה אופטי (OEM) מותאמות אישית.

גנרטורים:מותגי ספקי כוח-שצוינו על ידי הלקוח או תצורות דופק- מיוחדות.

סִנוּן:שדות היגוי מגנטיים ומסנני מאקרו-חלקיקים לגימורים אופטיים/אלקטרוניים אפס-טיפות.

אוטומציה:אינטגרציה של SCADA וקישוריות מסד נתונים של SQL עבור רישום נתונים בתעשייה 4.0.

בדיקת דליפות:בדיקת ספקטרומטר מסת הליום על כל הריתוכים (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m3/s).

בטיחות חשמל:התנגדות לבידוד, הארקה ואימות חיבור לפי תקני CE/NFPA.

ריצה יבשה פונקציונלית:מבחן מכני רציף של 72 שעות ומחזור שסתומים.

תהליך אימות:בדיקת קופון רפרנס לקשיות ננו-אינדנטציה והדבקה לשריטות.

טרום-התקנה:שרטוטי פריסת שירות מסופקים עבור חשמל, מים, פליטה ואוויר דחוס.

הַזמָנָה:הגדרת-אתר וריצות ניסיון בפיקוח מהנדסי מפעל.

הַדְרָכָה:פעולות-תפעול, החלפת קתודה ואימון תחזוקה שוטפת.

טיפול במחזור החיים:אבחון VPN מרחוק מאובטח והקצאת חלקי חילוף מקומית.