ציוד רב-קשת ואקום

מערכת השקעת ואקום מרובת-קשתות זו משתמשת בטכנולוגיית ציפוי יוני קשת קתודית להנחת ציפויים קשיחים צפופים ובעלי הדבקה גבוהה-על מצעים מתכתיים ולא-מתכתיים. על ידי הפעלת קשת זרם-נמוכה וגבוהה-על מטרות קתודה מוצקות, החומר מתאדה ומיונן באופן מיידי בסביבת ואקום. מואץ על ידי מתח הטיה שלילי, יוני מתכת מגיבים עם גזים תגובתיים (N2, C2H2, O2) ליצירת סרטי תרכובת סטוכיומטריים.

המערכת תוכננה עבור חדרי כלים תעשייתיים, יצרני רכיבי רכב ולשכות שירות ציפוי עצמאיות, ומספקת קשיות סרט שניתן לחזור עליה, מקדמי חיכוך נמוכים ועמידות לחמצון. כל מכונה מוגדרת על סמך תפוקת אצווה, גיאומטריית מצע וארכיטקטורות ציפוי יעד (חד-שכבתי, רב-שכבתי או שיפוע).

מקורות קשת שדה מגנטי מתקדמים:קתודות משלבות סלילים קבועים ואלקטרומגנטיים אופטימליים כדי לכוון מסלולי נקודת קשת, להגדיל את יעילות ניצול היעד ליותר מ-55% ולהפחית את פליטת הטיפות.

בקרת זרימת גז-סגורה:בקרי זרימת מסה (MFC) מווסתים את הלחצים החלקיים של הגז התגובתי בזמן אמת-, תוך שמירה על סטואכיומטריה מדויקת עבור ציפויים מורכבים מורכבים כגון TiAlN ו-AlCrN.

מנגנון סיבוב מצע פלנטרי:כונן סיבוב רב-ציר מבטיח פיזור אחיד של עובי הסרט (סובלנות בתוך ± 5%) על פני רכיבי תלת-ממד מורכבים וכלי חיתוך.

יכולת-תחריט יונים במקום:ניקוי משולב של פריקת זוהר וחריטת יוני מתכת מסירים תחמוצות מקוריות לפני השקיעה, ומבטיחים חיבור ממשק עמיד בפני שריטות-.

ארכיטקטורת חשמל מודולרית:בלוקים סטנדרטיים ומדפי חשמל מודולריים מבודדים מפשטים את האבחון בשטח ומצמצמים את הזמן הממוצע לתיקון (MTTR).

שקיעת סרט דק-מתבססת על שלמות ואקום בסיסית ודינמיקת טיפול בגז, המבוצעת באמצעות ערימת שאיבה מבוימת:

חיספוס ושלב ביניים:משאבות מכאניות סיבוביות סיבוביות-ישירות בשילוב עם מפוחי שורשים מפנים את החדר מלחץ אטמוספרי לטווח המעבר (10^-1 פא).

שלב ואקום גבוה:משאבות טורבו-מולקולריות (או משאבות דיפוזיה של שמן המצוידות במלכודות קור של חנקן נוזלי) משיגות לחץ בסיס אולטימטיבי מתחת ל-5.0 × 10^-4 Pa, ומבטלות שאריות זיהום אדי מים וחמצן.

מכלול איטום ושסתומים:שסתומי שער ואקום גבוהים-פניאומטיים, אוגנים אטומים אלסטומר/מתכת-(ISO/CF) וריתוכים שנבדקו- דליפת הליום (< 1.0 × 10^-10 Pa·m3/s) prevent atmospheric outgassing during long coating cycles.

חומרי יעד
מתכות טהורות:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, נירוסטה

סגסוגות:TiAl, CrAl, SiAl, WC-Co

חומרי מצע
פלדות כלי עבודה:H13, M2, D2,-פלדה במהירות גבוהה (HSS)

קרבידים מוצקים:שירותים-תוספות משולבות ופרסאות קצה

מתכות מבניות:סגסוגות טיטניום, נירוסטה, פליז ואלומיניום (דורש פרוטוקולי שקיעה בטמפרטורה-נמוכה)

כלי חיתוך ועיצוב:שקיעה של TiN, TiAlN ו-AlCrN על כרסניות קצה, מקדחות, חותכי חציבה וחותכי הטבעה כדי להגדיל את קשיות פני השטח עד ל-3000 HV ולהאריך את חיי הכלים פי 3-5.

רכיבי רכב:ציפויי חיכוך-נמוכים (DLC או CrN) מיושמים על טבעות בוכנה, פיני הזרקת דלק וברזים כדי להפחית בלאי מכני ואובדן כוח טפילי.

חומרה וכלים סניטריים:Decorative, wear-resistant hard gold, rose gold, black (TiCN, ZrN), and stainless steel tones applied to architectural door hardware and bathroom fixtures with proven salt spray corrosion resistance (>240 שעות).

גיאומטריה קאמרית:טעינה אנכית (בבור-רכוב או רצפה-עומד) או תצורות טעינה- קדמית אופקית.

שילוב שיקוע היברידי:שלבו מקורות קשת קתודיים עם קתודות -High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS) או קתודות מגנטרון לא מאוזנות (UBM) בתא יחיד עבור שכבות פונקציונליות היברידיות.

ממשק אוטומציה:שילוב תוכנת SCADA מותאם אישית עם MES (מערכת ביצוע ייצור) של היצרן למעקב אחר אצווה מרחוק ולחיצות ידיים של רובוט טעינה אוטומטית.

התאמות שירות:התאמות טמפרטורת/לחץ של מי קירור- ספציפיות במפעל ותאימות מקומית למתח רשת החשמל (למשל, 380V/480V, 50Hz/60Hz, 3-phase).

איתור דליפות ואקום:בדיקת דליפת ספקטרומטר מסה הליום שבוצעה על כל גופי התאים, תפרי הריתוך וסעפות השסתומים.

ביקורת בטיחות חשמל:התנגדות בידוד, המשכיות הארקה ובדיקות פוטנציאל- גבוה (hipot) שבוצעו בהתאם לנורמות החשמל CE/UL.

ריצה יבשה פונקציונלית:בדיקת רכיבה רציפה של 72 שעות של כונני סיבוב מכניים, שסתומים פנאומטיים וגופי חימום ללא הצת מטרה.

אימות הפקדה לדוגמה:ריצת ניסיון של ציפוי שבוצעה באמצעות מצעים שסופקו על ידי הלקוח; דגימות שהוערכו באמצעות-בדיקת מכתש כדור (הידבקות) ו-Calotest/XRR (מדידת עובי הסרט).

מדריך-טרום התקנה:שרטוטי פריסת יסוד ושירות מפורטים מסופקים המכסים מפרטי טעינת רצפה, קצבי זרימת מי קירור (m3/h), דרישות תעלות פליטה וגודל פסי חיבור חשמליים.

הפעלת-אתר:מהנדסי שטח נשלחו ליישור מכני, בדיקת דליפות ואקום, חיבור לחשמל, כוונון מתכוני תהליך ראשוני והכשרת מפעילים.

חבילת תיעוד:אספקה ​​מלאה כוללת שרטוטים חשמליים, סיכומי לוגיקה של מקור PLC, מדריכים לרכיבי ואקום, פתרון בעיות תחזוקה בעצים ולוחות זמנים להחלפת חומרים מתכלים.

תמיכה באבחון מרחוק:VPN מאובטח-אפשר שילוב נתב המאפשר למהנדסי תהליכים להתחבר לממשק HMI לאבחון-פרמטרים בזמן אמת ועדכוני תוכנה.

מלאי חלקי חילוף:מלאי ייעודי של פריטים חלופיים קריטיים (מטרות קתודה, מבודדים, אטמי שסתומים) נשמר עבור משלוח מהיר כדי למזער את זמן ההשבתה של הקו.