ציוד לסרטים דקים של-Arc Ion

מערכת ציפוי יונים מרובת-קשת זו משתמשת באידוי קשת קתודי להנחת ציפויים קשיחים צפופים ובעלי הדבקה גבוהה- וסרטים דקים פונקציונליים. על ידי פגיעה בקשת-זרם גבוה, נמוך-על מטרות קתודה מוצקות, החומר מתאדה ומיונן באופן מיידי בסביבת ואקום גבוהה-. בשילוב עם גזים תגובתיים (N2, O2 או C2H2), המערכת מסנתזת ציפוי תרכובות סטוכיומטרי ישירות על מצעים מתכתיים או לא{11}}מתכתיים. הנדסה לייצור תעשייתי מתמשך, הארכיטקטורה מבטיחה התפשטות קשת יציבה, בקרת סטוכיומטריה מדויקת וביצועי אצווה -ל-סרט אצווה.

טכנולוגיית קשת קתודה מסוננת:מצויד בהיגוי שדה מגנטי ותעלות סינון -חלקיקים מאקרו (טיפות) כדי למנוע פגמים על פני השטח, המניבים גימורים חלקים במיוחד עבור רכיבים מדויקים.

בקרת גז תגובתית-סגורה:בקרי זרימת מסה (MFC) הקשורים ללחץ הכולל ולמשוב פליטה אופטי שומרים על לחצים חלקיים יציבים במהלך סינתזה של תרכובות תגובתיות.

כונן פלנטרי רב-ציר:צירי סיבוב וסיבוב עצמאיים מבטיחים הפצצת יונים אחידה ופיזור עובי הציפוי על פני גיאומטריות תלת- מורכבות.

צנרת ואקום מודולרית:סעפות נירוסטה מלוטשות-תקן ISO-אלקטרו- ממזערות את יציאת הגזים ומפשטות את מרווחי התחזוקה השוטפת.

מעקב אחר נתוני אצווה:רישום אוטומטי של לחץ תא, מתח הטיית מצע, זרם קשת וקצב זרימת גז לביקורת איכות מקיפה.

תת-מערכת הוואקום- מתוכננת לרכיבה מהירה וטיפול חזק בתוצרי לוואי של תהליך:

שלב חיספוס:משאבות שבשבת סיבוביות או משאבות בורג יבשות בשילוב עם מפוחי Roots ליצירת ואקום גס ללא שמן.-

שלב ואקום גבוה:משאבות דיפוזיה עם מלכודות קור של חנקן נוזלי או טורבו-תפוקה גבוהה-משאבות מולקולריות (TMP), שנבחרו על סמך דרישות חדר נקי ויעדי זמן מחזור.

שסתומים ומדידות:שסתומי שער פנאומטיים ושסתומי בידוד-באמינות גבוהה. מדידת ואקום בטווח מלא תוך שימוש במדדי יינון Pirani ו-Hot Cathode המשולבים ב-PLC הבטיחותי.

קתודות אידוי
מתכות טהורות:סגסוגות Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, נירוסטה.

סגסוגות / תרכובות:מטרות סינטרות מותאמות אישית שנוסחו לקשיות מיוחדת, מקדמי חיכוך ועמידות לחמצון.

חומרי מצע
פלדות כלי עבודה:פלדה במהירות גבוהה-(HSS), תוספות טונגסטן קרביד, פלדות מתכת לעבודה קרה/חמה.

מתכות הנדסיות:סגסוגות טיטניום, נירוסטה מבנית, אלומיניום (באמצעות טיפול מקדים-).

קרמיקה טכנית:קרמיקה תעשייתית נבחרה הדורשת הכנת ממשק מוליך.

כלי חיתוך ועיצוב
סוגי ציפוי:TiN, TiAlN, AlTiN, CrN.

השפעת ביצועים:מגדיל באופן משמעותי את קשיות פני השטח (עד 3000+ HV), מוריד את מקדמי החיכוך ועמיד בפני חמצון תרמי. הוכח כמאריך את תוחלת החיים התפעולית של מקדחים, כרסני קצוות, חותכי כיריים ופורני הטבעה בתנאי עיבוד מהירים- גבוהים.

רכיבי רכב
יישומים:טבעות בוכנה, ברזלים, חלקי הזרקת דלק וחומרת קישוט חיצונית דקורטיבית או פונקציונלית הדורשת עמידות נגד-בלאי וקורוזיה.

מכשירים רפואיים
יישומים:ציפויי TiN ו-TiCN תואמים ביולוגיים על אזמלים כירורגיים, ברגי עצם ושתלים דנטליים כדי לשפר את הפסיבציה של פני השטח ועמידות הבלאי.

מערכות מתוכננות כך שיתאימו לעקבות ייצור ופרמטרים ספציפיים של תהליך:

גודל תא:קטרים ​​וגבהים פנימיים בהתאמה אישית המותאמים למידות אצווה ומשקולות מרביים.

תצורת מקור:שילובים היברידיים של מקורות קשת וקתודות מקרטעות מגנטרון מישוריות עבור ארכיטקטורות רב-שכבתיות וננו-מרוכבות.

רמת אוטומציה:תאים עצמאיים למחצה-או קווי ייצור משולבים לחלוטין התואמים למערכות טעינה רובוטיות.

בדיקת דליפת הליום:כל תא ואקום עובר בדיקת דליפה מחמירה של ספקטרומטר מסה לפני שחרורו מהמפעל (שיעור דליפה<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

בטיחות חשמל:ארונות בקרה שנבנו על פי תקני תאימות CE / UL עם מעגלי בטיחות שלובים לחלוטין.

בדיקת קבלת מפעל (FAT):ריצות בדיקה לפני-משלוח המאמתות את הלחץ הסופי, אחידות טמפרטורת המחמם ויציבות הצתת קשת מתמשכת על פני מחזור רציף של 24 שעות.

הנחיות הכנת אתר:תיעוד מקיף של פריסת שירות המכסה קצב זרימת מי קירור/לחץ, אוויר דחוס, אוורור פליטה וירידות חשמל.

הפעלת-אתר:מהנדסי תהליכים ומכונות מנוסים שנשלחו ליישור מבני, אימות דליפות ואקום, חיבור חשמלי- ומסירת מתכון בסיסי.

הכשרת מפעילים:הדרכה-בידיעה המכסה תחזוקה שוטפת, החלפת יעדי קתודה ופתרון בעיות PLC.

אבחון מרחוק:אינטגרציה מאובטחת של מודול VPN לעדכוני תוכנה-בזמן אמת, ניתוח פרמטרים ואבחון תקלות-מהיר.