ציוד רב-Arc PVD לסרט דק

מערכת Multi-Arc PVD תעשייתית משתמשת בתצהיר אדי קשת קתודי גבוה-מיוניזציה כדי להפקיד ציפויים קשיחים צפופים וסטוכיומטריים (כגון TiN, TiAlN, CrN ו-DLC) על גבי מצעים מתכתיים. מערכת זו תוכננה למרכזי ציפוי חוזים בנפח- גבוהים וקווי ייצור שבויים, מערכת זו מייעלת עמידות בפני שחיקה, הפחתת חיכוך ויציבות תרמית עבור רכיבים מדויקים.

מקורות קשת קתודית מסוננת:סינון מגנטי ממזער יצירת מאקרו-חלקיקים (טיפות), ומניב גימורי משטח חלקים יותר (Ra < 0.1 אום).

תצורת מגנטרון לא מאוזנת-סגורה: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.

ויסות זרימת גז כפול{{0}:בקרת משוב-סגורה באמצעות מנומטרי קיבול ו-MFC-בדיוק גבוה עבור גזים תגובתיים (N2, C2H2, O2).

מקורות שקיעה מודולריים:פריסות מישוריות וגליליות הניתנות להחלפה מאפשרות החלפת יעדים מהירה עבור ארכיטקטורות מרובות-שכבות.

משאבת חיספוס:גיבוי מכני של שבשבת סיבובית או בורג יבש כדי למנוע זרימת שמן לאחור.

משאבת ואקום גבוה: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 L/s) בשילוב עם מפוח שורשים.

איטום ושסתומים:שסתומי שער פניאומטיים, אוגני ISO-F/CF עם אטמי ויטון/מתכת; קצב דליפת ספקטרומטר מסה הליום < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

ניטור לחץ:מדי יינון משולבים של פיראני וקתודה קרה.

יעדי קתודה סטנדרטיים:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).

חומרי מצע:קרבידים מוצקים (WC-Co), HSS, פלדות סגסוגת (SKD11, 40Cr), סגסוגות טיטניום (Ti-6Al-4V) ופלדת אל חלד (304, 316L).

טרום-טיפול:מצריך הסרת שומנים על-קולית וחריטת יוני פלזמה של ארגון- באתרו (הפצצת Ar+) כדי לסלק תחמוצות פני השטח לפני השקיעה.

כלי חיתוך ועיצוב:כרסני קצוות, חותכי צידה ותוספות מצופים ב-TiAlN/TiN להארכת חיי הכלים ב-200% - 400% בעיבוד יבש.

רכיבי רכב:טבעות בוכנה, פיני מזרק, וברזים מצופים ב-CrN/DLC להפחתת חיכוך גבול ושפשוף.

מכשירים רפואיים:ברגים אורטופדיים, להבים כירורגיים ותומכי שיניים המשתמשים ב-TiN/ZrN להתאמה ביולוגית ועמידות בפני קורוזיה.

חומרה תעשייתית:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 HV).

גודל תא:קטרים ​​פנימיים מותאמים ופרופילי גובה מותאמים לנפחי אצווה ספציפיים או חלקי עבודה גדולים מדי.

פריסת קתודה:4 עד 12 חריצי מקור קשת הניתנים להגדרה הממוקמים באופן סימטרי כדי להבטיח חלוקת עובי בתוך +/- 8%.

שילוב הטיה:אינטגרציה היברידית אופציונלית של-הספק רב פעימות (HPPMS) לצד מקורות קשת קתודיים סטנדרטיים.

אוטומציה:אינטגרציה עם זרועות טעינה אוטומטיות ומערכות ביצוע ייצור SCADA.

בדיקת חומרים:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).

בדיקות מבניות:אימות ממדי CMM של חדרים ובדיקת לחץ הידרוסטטית של תעלות קירור.

בדיקת קבלת מפעל (FAT):בדיקת ייבוש רציפה של 72-שעות- המכסה סיבוב מכני, עקומות שאיבה למטה ויציבות תרמית.

אימות ציפוי:בדיקת קופונים שהוערכו באמצעות בדיקת בלאי-על-דיסק, הזחה של Rockwell וניתוח עובי FESEM בחתך-.

הכנת האתר:תיעוד הנדסי מפורט עבור מגבלות עומס רצפה, קצבי זרימת מי קירור ודרישות פס חשמלי.

הַזמָנָה:התקנה- באתר, כיול ואקום ומסירת מתכונים לתהליך בסיסי על ידי מהנדסי שטח.

הכשרת מפעילים:תוכניות מובנות המכסות תחזוקה שוטפת, החלפת מטרות, ציד דליפות ופתרון בעיות PLC בסיסי.

תמיכה במחזור החיים:שילוב ממשק אבחון מרחוק עבור-רישום פרמטרים בזמן אמת ובידוד תקלות מהיר.