סדרת EBE-V600 היא פלטפורמה תעשייתית-תעשייתית (PVD) המיועדת לציפוי סרט דק- מדויק של רכיבים אופטיים, התקני מוליכים למחצה וחומרים מתקדמים. על ידי הפניית אלומת אלקטרונים ממוקדת מגנטית באנרגיה- גבוהה אל חומרי מקור בתוך כור היתוך מקורר במים-, המערכת משיגה קצבי אידוי מהירים תוך שמירה על עומסים תרמיים מבודדים מקירות החדר.
הארכיטקטורה משלבת מקורות אלקטרונים מרובי-כיסים וחיישני קוורץ גבישי מיקרואיזון (QCM), המבטיחים נאמנות סרט סטוכיומטרי ובקרת עובי עקבית על פני ערימות דיאלקטריות או מתכתיות מרובות-.
מפרט טכני
|
פרמטר טכני |
ערך מפרט |
|
גיאומטריה קאמרית וחומר |
כלי גלילי בגודל Φ600 מ"מ x 600 מ"מ; פנים מלוטש SS304 עם מעילי מי קירור חיצוניים |
|
לחץ בסיס אולטימטיבי |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping) |
|
זמן מחזור הפמפם- |
<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa) |
|
כוח אקרון אלקטרוני |
6 קילוואט עד 12 קילוואט מרובים-תצורת כיסים עם סטיית אלומה של 270 מעלות |
|
קיבולת כור היתוך |
4 עד 6 כיסים (כורי היתוך נחושת/גרפיט ניתנים להחלפה, נפח של 15 סמ"ק עד 40 סמ"ק לכל כיס) |
|
סיבוב שלב המצע |
0 עד 30 סל"ד מהירות משתנה פלנטרית או הנעה ישירה |
|
טווח חימום מצע |
אווירה עד 600 מעלות באמצעות PID סגורה-מערך מנורות הלוגן בלולאה |
|
ניטור עובי |
חיישני QCM כפולים עם בקרת משוב תריס אוטומטית |
תכונות מפתח
סטיה מגנטית של 270 מעלות E-אקדח:מבודד את חוט הטונגסטן מנתיבי אדים ישירים, מונע קיצור-מעגל והארכת חיי הפעולה בין מרווחי התחזוקה.
בקרת טאטוא דיגיטלית:דפוסי רסטר הניתנים לתכנות מפיצים אנרגיית אלקטרונים באופן אחיד על פני משטח האידוי, ומפחיתים את היווצרות החורים ואת האידוי המועדף במהלך שקיעת סגסוגת.
ארכיטקטורת ואקום מנותקת:קווי חיספוס ושאיבת ואקום גבוהה- מבודדים מבני ממסגרת החדר הראשי כדי לדכא העברת רטט מכאני במהלך צמיחת הסרט.
מטריצת בטיחות של נעילת חומרה:ניטור PLC בזמן אמת של-זרימת מי קירור, משוב-מתח גבוה, לחץ פנאומטי ושלמות אטם הדלת.
תצורת מערכת ואקום
תת-מעגל הוואקום- מתוכנן לרכיבה מהירה ולחץ בסיס נמוך כדי למזער שילוב של שאריות גז (H2O, O2, N2) בסרטים גדלים:
משאבת ואקום גבוהה-:משאבת טורבו-מולקולרית של 1200 ליטר/שניה מגובה במשאבת שבשבת סיבובית דו-שלבית- (או תצורת משאבת גלילה יבשה להתאמה לחדר נקי).
שסתום בידוד:שסתום שער מופעל פנאומטי-מבודד את החדר במהלך פעולות עומס.
מדידת ואקום:מדי יינון משולבים של Pirani ו-Cold Cathode המכסים טווח רציף בין האטמוספרה ל-10^-6 Pa.
חומרים ומצעי סרטים
מקורות אידוי תואמים
תחמוצות ודיאלקטריות:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
מתכות טהורות:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Ni
מוליכים למחצה ומוליכים:Si, Ge, ITO (תחמוצת אינדיום פח)
יישומים
מסנני הפרעות אופטיות:תצהיר רב-שכבתי-אינדקס גבוה-נמוך-למסנני מעבר פסים צרים- ומראות לייזר.
ייצור התקן מוליכים למחצה:היווצרות מגע אוהמי, שקיעת תחמוצת שער ושכבות זרעי מתכת.
מחקר OLED ותצוגה:שקיעת קתודה מתכתית דקה ובדיקות פסיבציה אורגנית/אי-אורגני-רב-שכבתית.
ציפוי עקשן קשיח:שכבות עמידות בפני בלאי- עבור רכיבים מכניים ותעופה וחלל.
התאמה אישית
הרחבת תא:גבהים מורחבים של כלי או גיאומטריות מלבניות המותאמות לשילוב כלי אשכול.
שילוב מקור:מקורות אידוי תרמי במקביל (סירות התנגדות) בשילוב עם רובי קרן אלקטרונים.
הפקדת יונים-בסיוע (IAD):שילוב של מקור יונים קצה-הול או קאופמן לצפיפות סרטים וכוונון מתח.
ארכיטקטורת תוכנה:תכנות מתכוני PLC/HMI תואם למסגרות אוטומציה של סימנס S7 או Beckhoff.
בקרת איכות
בדיקת דליפת הליום ספקטרומטר מסה:כל ריתוך תא נבדק לסף דחייה של < 1 x 10^-9 Pa·m3/s לפני השילוב.
תאימות חשמל:דיאלקטרי-במתח גבוה עומד בבדיקות ואימות המשכיות הארקה לפי הנחיות CE/UL.
בדיקת קבלת מפעל (FAT):72-שעות רציפות של ריצת ניסוי-רישום עקומות לחץ בסיסיות, חזרתיות של טאטוא קרן אלקטרונית וזמני תגובה של נעילה. תיעוד הבדיקה נשלח עם היחידה.
התקנה ותמיכה טכנית
הזמנת האתר:מהנדסים-מוסמכים במפעל מנהלים יישור מכני, אימות דליפות ואקום, פיקוח על חיבורי שירות וריצות כיול ראשוניות.
הכשרה טכנית:אימון פרוטוקולי תפעול ותחזוקה של 3-ימים באתר המכסה החלפת חוטים, בנייה מחדש של שסתומי ואקום ועריכת מתכונים.
תוצרי תיעוד:קלסרים טכניים מלאים כולל סכימות P&ID, דיאגרמות חיווט חשמליות, קבצי גיבוי PLC ופירוט חלקי חילוף.
שאלות נפוצות
ש: מהו תוחלת החיים התפעולית של חוט טונגסטן e-gun, וכיצד ניתן לטפל בו?
ת: תחת לחצי עבודה סטנדרטיים (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.
ש: כיצד המערכת מונעת יריקה במהלך שקיעת תחמוצת?
ת: מחולל הסוויפ הדיגיטלי מפיץ אנרגיית אלקטרונים על פני מטריצת רסטר מחושבת על גלולת התחמוצת. זה מבטל התחממות יתר מקומית, מונע רתיחה נפיצה ומדכא פליטת טיפות מיקרו-.
ש: אילו תשתיות שירות חובה באתר ההתקנה?
A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 ליטר לדקה, טמפרטורה 18 מעלות עד 25 מעלות .
רשת חשמלית: 3-פאזי, 380V ± 10%, 50/60 הרץ (או בתצורת היצרן לתקנים אזוריים).
אוויר דחוס: 0.5 MPa עד 0.7 MPa אוויר יבש עבור מפעילי שסתומים פניאומטיים.
ש: האם גישה לאבחון מרחוק משולבת במערכת הבקרה?
ת: כן. יציאת Ethernet מבודדת תומכת בחיבור VPN מאובטח לאחזור יומני PLC מרחוק ופתרון בעיות תוכנה על ידי צוות ההנדסה שלנו.
תגיות פופולריות: ציוד לסרט דק לאידוי קרן אלקטרונים, יצרנים, ספקים, מפעלים של ציוד לאידוי קרן אלקטרונים
