מערכת ציפוי ואקום בדרגה-תעשייתית המשלבת התזת מגנטרון (RF/DC/HiPIMS) ואידוי קשת קתודית. תוכנן להצבת סרט דק- רציף, רב-שכבתי, סגסוגת וננו-מרוכבת בקנה מידה ייצור.
מפרט טכני
|
פָּרָמֶטֶר |
ערך מפרט |
|
לחץ ואקום אולטימטיבי |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and roots-rotary pump configuration) |
|
מידות קאמרית |
גודל מותאם אישית מ-D 600 מ"מ x 600 מ"מ ל-D 1500 מ"מ x 1500 מ"מ (304/316L אלקטרו-נירוסטה מלוטשת) |
|
מקורות הפקדה |
ניתן להגדרה: 2-6 קתודות מקרטעות מגנטרון / 2-4 מקורות קשת |
|
כוח הטיית מצע |
מתכוונן בין 0 ל-1000 VDC (DC פועם עבור מצעים דיאלקטריים) |
|
אחידות עובי הסרט |
<= +/- 3% across standard planar holder (via dynamic planetary rotation) |
|
טמפרטורת המצע |
אווירה עד 650 מעלות (+/- 2 מעלות PID סגור-בקרת לולאה) |
|
חלוקת כוח |
RF (13.56 MHz), DC, Pulsed DC, ותדר בינוני- (MF) עם דיכוי קשת |
תכונות מפתח
שילוב טכנולוגי כפול{{0}:משלב קפיצה (סרטים מורכבים חלקים ואמורפיים) וקשת קתודית (השקעת מתכת/סגסוגת יינון גבוהה) במחזור משאבה אחד-.
ניהול גז-סגור:בקרי זרימת מסה (MFC) בשילוב עם ניטור פליטה אופטי (OEM) מייצבים את הלחצים החלקיים של הגז התגובתי.
בידוד מכני:כוננים פלנטריים מרובי-צירים מבודדים מיסבים מכניים מאזור התהליך, ומונעים זיהום חלקיקים.
אדריכלות תרמית:קירות תא מקוררים -כפולים קירות - ומיגון קרינה מונעים עיוות תרמי במהלך פעולת-הספק גבוה.
ליבת אוטומציה:ארכיטקטורת Siemens S7-1500 PLC ו-WinCC SCADA לניטור מנעול, גז והספק בזמן אמת.
תצורת מערכת ואקום
רכבת חיספוס:ישירה-משאבות שבשבת סיבוביות, מגובות במפוחי Roots עם אטמי נוזלים מגנטיים.
ואקום גבוה:משאבות טורבו-מולקולריות (1200 - 3200 ליטר/שניות) או משאבות קריוגניות.
אבחון:יציאות בדיקה משולבות של ספקטרומטר מסה הליום ונעילות רצף אוטומטיות.
תאימות חומרים ומצע
חומרי יעד:
מתכות:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, CrAl, Si
קרמיקה/תרכובות:TiN, CrN, TiAlN, DLC, Al2O3, SiO2
תשתיות:פלדות כלי עבודה (H13, M2, תוספות קרביד), סגסוגות מבניות טיטניום/אלומיניום, קרמיקה הנדסית ופסלי סיליקון.
יישומים וביצועים מוכחים
כלי חיתוך:ציפויים רב-שכבתיים-נמוכים,-גבוהים-(TiAlN/TiN) להארכת חיי הכלים בעיבוד יבש במהירות גבוהה-.
רכב:בלאי וציפויים נגד-שפשוף עבור טבעות בוכנה וסיכות הזרקת דלק.
תעופה וחלל:מחסום תרמי עמיד לחמצון- וסרטי הגנה על להבי מדחס ומחברים.
אופטיקה ואלקטרוניקה:תחמוצות שקופות מוליכות (ITO) ומסנני הפרעות אופטיות.
אפשרויות התאמה אישית
גיאומטריה קאמרית:תצורות קופסאות מלבניות לטעינת מתלים או גיאומטריות גליליות.
תיקון מקור:אוגני הרכבה קתודה מתחלפים להמרת שדה ל-CFUBMS.
תחריט פלזמה:רובי יונים מסוג -קאופמן או מקורות קתודה חלולים לניקוי מצע באתר-.
בקרת איכות ובדיקות מפעל
שלמות ואקום:סף בדיקת דליפת הליום<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
גימור פני השטח:ריתוכים פנימיים תאיים אלקטרו-מלוטשים ל-Ra<= 0.4 um.
שׁוּמָן:בדיקה רציפה של 72-שעות של לולאות ואקום, תנועה ובטיחות לפני הארגז.
תקני ציות:נבנה לפי הנחיות מכונות CE ותקני ISO 9001. (סמלים של תג אמון: ISO 9001, CE, UL)
התקנה ותמיכה טכנית
חבילת תיעוד:סכימות P&ID, דיאגרמות חיווט חשמליות, לוגיקה של מקור PLC ותיקיות תאימות ל-CE/UL.
הַזמָנָה:מהנדסי שטח מפקחים על מיקום מכני, חיבורי שירות ואימות בדיקת דליפות.
SAT ומסירת מתכונים:ריצות בדיקה בסיסיות של-אתר ואופטימיזציה של מתכונים.
שאלות נפוצות
ש: מהו זמן ההשבתה של המשאבה-ללחץ הבסיס?
ת: מגיע ל-5.0 x 10^-4 Pa בתוך 45 דקות בתנאים תרמיים נקיים, יבשים וסביבתיים.
ש: האם המערכת יכולה לעבור בין קריסת DC ו-RF באמצע תהליך-?
ת: כן. מטריצת הכוח מאפשרת תוכנה-רצף מבוקר בין DC, DC דופק ו-RF מבלי לשבור את הוואקום.
ש: אילו כלי שירות נדרשים-באתר?
ת: מים קרים (15 עד 20 מעלות ב-0.3 עד 0.4 MPa), אוויר דחוס (0.6 MPa), גזי תהליך-בטוהר גבוה (Ar, N2, O2 ב-99.999%) וכוח תעשייתי תלת פאזי ייעודי.
ש: כיצד מווסתת טמפרטורת המצע במהלך השקיעה?
ת: פירומטרים אינפרא אדום משולבים בשילוב עם מאגר חימום קרינה ובקרת לולאה סגורה-PID.
תגיות פופולריות: מערכת סרט דק pvd מרוכב, סין יצרנים, ספקים, מפעל מערכות סרט דק pvd מרוכב
