ציוד PVD לאידוי קשת

מערכת PVD אידוי קשת קתודית תעשייתית משתמשת בקשתות חשמליות -נמוכות וזרם גבוה- כדי לאדות מטרות קתודה מוצקות בסביבת ואקום. מנגנון זה משיג קצב יינון מתכת העולה על 80%, מה שמבטיח חוזק התקשרות כימי גבוה והיצמדות מצע בהשוואה לאידוי תרמי או התזת מגנטרון סטנדרטית.

המערכת תוכננה לייצור רציף מרובה-משמרות, ומשלבת תא ואקום מפלדת אל חלד כבדה-, מכלולי היגוי קתודה מודולריים וארכיטקטורת בקרת תהליכים אוטומטית מבוססת PLC-.

יעילות יינון גבוהה:אידוי קתודה ישיר מייצר פלזמה מתכתית מיוננת במלואה עבור צמיחת סרט דק- צפופה, פגומה-מבוקרת בטמפרטורות מתונות.

אפשרות קשת מסוננת מגנטית:סלילי היגוי אלקטרומגנטיים משולבים ממזערים את פליטת מקרו-חלקיקים (טיפות) כדי לספק גימורי ציפוי חלקים עבור כלי עבודה מדויקים.

ריבוי-שכבות/תצהיר מעבר:פעולת קתודה מרובת- סינכרונית מאפשרת סינתזה של שכבות מעבר מדורגות (למשל, Ti/TiN/TiAlN) מבלי לשבור ואקום.

בקרת תהליך-סגורה:לולאות משוב-בזמן אמת מווסתות את זרימת הגז התגובתי (חנקן, אצטילן, חמצן) באמצעות בקרי זרימת מסה-בדיוק גבוה (MFC) כדי לשמור על לחצים חלקיים של יעד.

ערימת שאיבה:חיספוס ראשוני משתמש במשאבות דו-שלביות-בשלבים סיבוביים בגיבוי מפוחי Roots. השגת-וואקום גבוהה מסתמכת על משאבות דיפוזיה-תפוקה גבוהה או משאבות טורבומולקולריות.

שסתומים וצנרת:שסתומי זווית פניאומטיים ושסתומי שער אלקטרופניאומטיים מבודדים את אזורי התאים באופן אוטומטי. סעפות משתמשות בצינורות נירוסטה מאוגנים ב-ISO/KF וב-CF עם אטמי נחושת בציפוי כסף- או טבעות Viton O-.

איתור דליפות:יציאות בדיקה משולבות של ספקטרומטר מסה הליום מאפשרות אבחון עד 10^-10 Pa*m^3/s.

חומרים קתודה תואמים
מתכות טהורות:סגסוגות Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, TiAl (למשל, יחסי אטומיים 50/50 או 33/67).

מטרות מורכבות:TiC, CrC, WC.

תאימות מצע
פלדות כלי עבודה:פלדות-מהירה (M2, H13) וקרבידים מוצקים (WC-Co inserts).

סגסוגות מבניות:נירוסטה, סגסוגות טיטניום (TC4) וסגסוגות על מבוססות-ניקל.

קרמיקה הנדסית:סיליקון ניטריד ואלומינה עם טיפול מקדים-מוליך.

כלי חיתוך ועיצוב:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 HV ומאריך את חיי בלאי הכלים ב-200% - 400%.

רכיבי רכב:ציפויים נגד-שחיקה על טבעות בוכנה, מחטים ומחטים להזרקת דלק. מוריד את מקדם החיכוך ל-0.15 - 0.25 כנגד פלדה.

שתלים רפואיים: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).

תבניות ותבניות:ציפוי CrN או DLC על תבניות הזרקת פלסטיק והטבעה כדי למנוע בלאי דבק ולהקל על שחרור חלקי העבודה.

גיאומטריה קאמרית:תצורות טעינה-אנכית של בור או חזית אופקית-.

פריסת מקור:מיקום קתודה מותאם אישית המותאם לגיאומטריות של חלקי עבודה תלת-ממדיים (למשל, קוביות אקסטרוזיה ארוכים או להבי טורבינה).

שדרוגי מחולל הטיה:שילוב של מודולים היברידיים של-הספק רב של דחף מגנטרונים (HIPIMS).

שילוב אוטומציה:ממשקי טעינה רובוטיים ומסילות העברת מתקנים אוטומטיות לסביבות חדרים נקיים.

לפני בדיקת קבלת מפעל (FAT), המערכות עוברות:

בדיקת דליפת ואקום:אימות ספקטרומטר מסת הליום על כל הריתוכים והאטמים.

אימות בטיחות חשמל:התנגדות בידוד, המשכיות קרקע ובדיקות לוגיות משתלבות בהתאם לתקני CE/UL.

צריבה פונקציונלית-ב:בדיקה רציפה של 72-שעות של כונני סיבוב, מתגי זרימה ותקשורת PLC.

בדיקת ציפוי:שקיעת דגימה מאומתת באמצעות מדידת עובי סרט-המכתש ובדיקת שריטות בשקעים של Rockwell.

הכנת האתר:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 m^3/h, 20 - 25 מעלות צלזיוס), אוויר דחוס, אוורור ונפילות חשמל (380V/480V, תלת פאזי, 50/60 הרץ).

הַזמָנָה:התקנה- באתר, כיול ואקום ואופטימיזציה של מתכונים על ידי מהנדסי תהליכים בכירים.

הכשרת מפעילים:הוראות-בידיעה המכסות תחזוקה שוטפת, החלפת יעדים ותפעול SCADA.

תמיכה לאחר-מכירות:גישה לאבחון מרחוק באמצעות VPN תעשייתי מאובטח; תגובה טכנית מובטחת תוך 24 שעות.